孙业林
- 作品数：4 被引量：6H指数：1
- 供职机构：河北工业大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金天津市自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>
- 碱性条件下硬盘基板两步抛光法的实验研究被引量：1
- 2010年
- 在对硬盘基板CMP机理进行分析后,采用河北工业大学研制的计算机硬盘抛光专用碱性抛光液,选择氧化剂添加量、抛光压力两个重要参数分别进行实验,讨论它们在两步抛光方法中的重要作用。总结实验结果后,得出了上述两个参数在两步抛光方法中的影响规律,提出粗抛光中,应该采用较高氧化剂添加量和抛光压力以得到较高的去除速率和一定的表面质量;精抛光中,应该采用低氧化剂含量、低抛光压力以得到较完美的表面质量。用此方法抛光,较好地解决了当前硬盘基板加工中抛光速率与表面质量之间的矛盾。
- 孙业林刘玉岭刘效岩魏恒谢竹石
- 关键词：去除速率粗糙度氧化剂
- 一种低噪声双鉴频鉴相器的研究
- 2010年
- 针对数字鉴频鉴相器的相位噪声较高的缺点,本文设计了一种低噪声模拟鉴相器,并提出了一种双鉴频鉴相器结构,将模拟鉴相器和数字鉴频鉴相器有机地结合在一起。在锁相环中,该结构的数字鉴频鉴相器在频率捕获阶段和相位锁定阶段起主要作用,其模拟鉴相器在锁定状态维持阶段起主要作用。仿真结果表明,这种双鉴频鉴相器结构既具有数字鉴频鉴相器捕捉范围广阔、锁定快速的优点,又具有模拟鉴相器相位噪声低的优点。
- 谢竹石夏克文孙业林
- 关键词：相位噪声锁相环
- Al-Mg/W-Mo合金化学机械抛光技术研究
- 王胜利李振霞牛新环檀柏梅边征张研江炎孙业林
- Al-Mg/W-Mo等合金材料表面加工过去以单一机械切削或研磨抛光为主，加工精度较低，表面粗糙度只能达到微米级，成为制约进一步精密化发展的“瓶颈”之一。该项目将半导体制造中化学机械抛光(CMP)技术拓展到精密物理实验特定...
- 关键词：
- 关键词：化学机械抛光
- 蓝宝石衬底表面粗糙度的研究被引量：5
- 2009年
- 简述了纳米级超光滑蓝宝石衬底的用途及发展前景,以SiO2为磨料并且加入了表面活性剂和螯合剂的碱性抛光液做了抛光实验。分析了表面粗糙度与抛光液pH值的关系,比较了不同压力对粗糙度的影响,研究了粗糙度随流量的变化规律;以原子力显微镜为主要检测工具,找到了制备超光滑蓝宝石衬底最佳CMP工艺,在保证抛光速率的同时使表面质量达到超光滑表面的要求,有效地降低了成本。
- 魏恒刘玉岭陈婷孙业林刘效岩
- 关键词：蓝宝石衬底化学机械抛光粗糙度去除速率
