吕利
- 作品数：8 被引量：4H指数：2
- 供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院科研装备研制项目国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 基于铁电薄膜的太赫兹调制器及其制作方法
- 本发明公开一种基于铁电薄膜的太赫兹调制器及其制作方法。所述太赫兹调制器包括：介质基板，其对太赫兹波具有较高的透过率；多个铁电薄膜单元，阵列排布在所述介质基板上；太赫兹滤波结构，设置在所述介质基板和所述多个铁电薄膜单元上，...
- 张晓渝张力力李欣幸吕利秦华
- 文献传递
- 石英音叉匹配电路
- 本发明提供了一种石英音叉匹配电路，该电路包括：石英音叉电路；与所述石英音叉电路连接的补偿电路，所述补偿电路产生一补偿电容；所述补偿电容的值接近于石英音叉电路产生的寄生电容的值，其相差值落在寄生电容值的±5%以内；变压器，...
- 苏丽娜吕利秦华顾晓峰
- 文献传递
- 单电子晶体管用于电荷检测的研究被引量：3
- 2014年
- 单电子晶体管可用作超灵敏电荷计进行高灵敏电荷检测。首先建立了单电子晶体管电荷检测的电路模型,阐释了其电荷检测机制;然后利用COMSOL和MATLAB软件对检测过程进行了模拟研究,分析了不同电荷量和检测距离时单电子晶体管库仑岛的电势,并研究了电荷量、检测距离及电荷间静电耦合对单电子晶体管电导的影响。结果表明,单电子晶体管电荷检测时工作点和检测距离决定其电荷检测的量程,最佳检测距离应设置在电导-距离曲线的斜率最大处。
- 苏丽娜吕利李欣幸秦华顾晓峰
- 关键词：电荷检测
- 一种射频单电子晶体管扫描探针及其应用
- 本发明涉及纳米器件及纳米加工技术，尤其是一种射频单电子晶体管扫描探针的结构及其应用。这种射频单电子晶体管扫描探针，包括一端呈针形的凸出部的SOI衬底，还包括集成在所述SOI衬底上、相互匹配的射频共振电路及单电子晶体管；所...
- 吕利秦华李欣幸孙建东张晓渝
- 一种射频单电子晶体管扫描探针及其应用
- 本发明涉及纳米器件及纳米加工技术，尤其是一种射频单电子晶体管扫描探针的结构及其应用。这种射频单电子晶体管扫描探针，包括一端呈针形的凸出部的SOI衬底，还包括集成在所述SOI衬底上、相互匹配的射频共振电路及单电子晶体管；所...
- 吕利秦华李欣幸孙建东张晓渝
- 文献传递
- 基于GaN/AlGaN HEMT太赫兹调制器的研究
- 本文设计和制备了基于AlGaN/GaN 高电子迁移率晶体管(HEMT)的高速电调控太赫兹调制器。器件主要由压控HEMT 单元阵列和金属性频率选择表面结构组成,HEMT 作为可调控元件其电导可通过施加栅压进行灵敏调控,频率...
- 张晓渝张志鹏谭仁兵李欣幸孙建东吕利张宝顺秦华
- 关键词：调制器高电子迁移率晶体管
- 基于铁电薄膜的太赫兹调制器及其制作方法
- 本发明公开一种基于铁电薄膜的太赫兹调制器及其制作方法。所述太赫兹调制器包括：介质基板，其对太赫兹波具有较高的透过率；多个铁电薄膜单元，阵列排布在所述介质基板上；太赫兹滤波结构，设置在所述介质基板和所述多个铁电薄膜单元上，...
- 张晓渝张力力李欣幸吕利秦华
- 文献传递
- 硅基单电子晶体管的可控制备被引量：2
- 2013年
- 采用电子束曝光、感应耦合等离子体刻蚀和热氧化等工艺技术,通过独特的图形反转设计,即在电子束曝光时采用负的曝光图形,并以电子束曝光的光刻胶作为掩膜进行干法刻蚀,通过后续的干法热氧化等工艺,在磷离子重掺杂的绝缘体上硅基底上成功地制备出单电子晶体管。该方法具有高精度、结构可控、可重复和加工成本低的优点,可作为一种批量制备单电子晶体管的工艺技术。所制备的单电子晶体管在2.6 K到100 K的温度范围内呈现出明显的库仑阻塞效应,导通电阻小于100 kΩ。该单电子晶体管将成为高速、高灵敏度射频电路的关键器件。
- 吕利孙建东李欣幸秦华
- 关键词：库仑阻塞电子束曝光
