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靳瑞敏

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：河南安彩高科股份有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇多晶硅薄膜
  • 1篇室内温度
  • 1篇晶化
  • 1篇光促进
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇玻璃衬底
  • 1篇衬底

机构

  • 1篇河南安彩高科...

作者

  • 1篇阎韬
  • 1篇武俊林
  • 1篇董林
  • 1篇韩香菊
  • 1篇万志刚
  • 1篇靳瑞敏

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
在玻璃衬底上利用特定波长的光促进硅薄膜结晶的方法
本发明属于光学技术领域，涉及一种在玻璃衬底上利用特定波长的光促进硅薄膜结晶的方法，包括如下步骤：a、沉底材料的预处理；b、非晶硅薄膜的制备；c、多晶硅薄膜的制备，本发明方法与传统方法相比较，使用有利于晶化、可以控制波长的...
靳瑞敏董林阎韬万志刚武俊林韩香菊
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