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陈文聪

作品数：11 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇专利
  • 1篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 5篇光谱
  • 4篇等离子体
  • 4篇信号
  • 4篇射频
  • 3篇电流
  • 2篇单色光
  • 2篇等离子体发射
  • 2篇等离子体发射...
  • 2篇电流探头
  • 2篇色散
  • 2篇射频功率
  • 2篇射频信号
  • 2篇时间分辨能力
  • 2篇损耗
  • 2篇损耗功率
  • 2篇匹配网络
  • 2篇平行光
  • 2篇网络分析仪
  • 2篇相位
  • 2篇相位误差

机构

  • 11篇清华大学

作者

  • 11篇陈文聪
  • 9篇蒲以康
  • 1篇朱悉铭

年份

  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇2015
  • 5篇2014
  • 1篇2013
  • 1篇2010
共 11 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
射频功率测量系统
本发明提出一种射频功率测量系统，包括：用于传输射频功率信号的同轴功率传输装置，包括内导体棒和外导体环，内导体棒套设在外导体环内；电压探头，设置在外导体环上，用于检测同轴功率传输装置的射频电压信号；第一电流探头和第二电流探...
高岛圭介陈文聪蒲以康
匹配网络的损耗功率标定方法及系统
本发明提出一种匹配网络的损耗功率标定方法及系统，其中系统包括：射频信号源，用于产生射频信号；第一功率计，用于测量射频信号的功率；匹配网络，匹配网络与第一功率计相连，匹配网络包括电感；示波器，用于测量电流探头的输出电压；模...
陈文聪蒲以康
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光谱分析系统
本发明公开了一种光谱分析系统，包括：切尼-特纳光路结构；光电倍增管阵列，光电倍增管阵列包括N个光电倍增管，N为正整数；光纤阵列，光纤阵列包括N组光纤，各组光纤的第一端排成与入射狭缝平行方向的一列安装在切尼-特纳光路结构的...
陈文聪蒲以康
文献传递
射频功率测量系统
本发明提出一种射频功率测量系统，包括：用于传输射频功率信号的同轴功率传输装置，包括内导体棒和外导体环，内导体棒套设在外导体环内；电压探头，设置在外导体环上，用于检测同轴功率传输装置的射频电压信号；第一电流探头和第二电流探...
高岛圭介陈文聪蒲以康
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低温等离子体光谱诊断
朱悉铭陈文聪蒲以康
对当前的低温等离子体科研领域而言，如何在不干扰等离子体的情况下，有效地诊断等离子体的关键物理参数，如电子温度和电子密度，是一个国际性难题。要解决这个问题，光谱诊断是一种可行的手段。但是，以前的光谱诊断的实验测量结果和理论...
关键词：
等离子体刻蚀工艺中氟原子密度的光谱检测方法及系统
本发明公开一种等离子体刻蚀工艺中氟原子密度的光谱检测方法及系统，具有不受电子温度影响，准确度高，可广泛地应用于多种刻蚀工艺条件等优点。该方法包括步骤：向含有氟原子的刻蚀反应腔中通入已知密度的氩气；检测激发阈能近似相等的、...
陈文聪尹凖晧蒲以康
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匹配网络的损耗功率标定方法及系统
本发明提出一种匹配网络的损耗功率标定方法及系统，其中系统包括：射频信号源，用于产生射频信号；第一功率计，用于测量射频信号的功率；匹配网络，匹配网络与第一功率计相连，匹配网络包括电感；示波器，用于测量电流探头的输出电压；模...
陈文聪蒲以康
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电容耦合等离子体中离子能量分布的研究
电容耦合等离子体广泛应用于对材料表面进行刻蚀和沉积,特别是在大规模集成电路制造中。材料表面的离子能量分布是影响工艺结果的关键参数。离子能量分布主要受鞘层中的碰撞过程(如电荷交换和碰撞诱导分解等)和射频电场的影响。已报道的...
陈文聪
关键词：鞘层碰撞
等离子体发射光谱二维空间分布的测量系统
本发明提出一种等离子体发射光谱二维空间分布的测量系统，包括：第一离轴抛物面镜用于将等离子体光源产生的光信号准直为平行光；第二离轴抛物面镜，第一离轴抛物面镜和第二离轴抛物面镜呈中心对称设置，以将平行光进行汇聚并形成汇聚点；...
陈文聪蒲以康
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光谱分析系统
本发明公开了一种光谱分析系统，包括：切尼-特纳光路结构；光电倍增管阵列，光电倍增管阵列包括N个光电倍增管，N为正整数；光纤阵列，光纤阵列包括N组光纤，各组光纤的第一端排成与入射狭缝平行方向的一列安装在切尼-特纳光路结构的...
陈文聪蒲以康
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