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闫鑫

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：厦门大学更多>>
相关领域：航空宇航科学技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 3篇陀螺
  • 2篇单晶
  • 2篇单晶硅
  • 2篇电隔离
  • 2篇电极
  • 2篇支承
  • 2篇支承梁
  • 2篇硅基
  • 2篇硅基底
  • 1篇式微
  • 1篇陀螺仪
  • 1篇微陀螺
  • 1篇解耦
  • 1篇角速率
  • 1篇硅微陀螺仪

机构

  • 3篇厦门大学

作者

  • 3篇闫鑫
  • 2篇伞海生
  • 2篇陈旭远

年份

  • 1篇2012
  • 2篇2011
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种可调整降低正交误差的微陀螺仪
一种可调整降低正交误差的微陀螺仪，涉及一种陀螺仪。设有下层为衬底，衬底表面设有悬浮结构层准备的深槽；上层为单晶硅整体制作通过局部刻蚀形成陀螺机械结构，包括驱动框架、检测质量块、悬浮检测电极质量块、电隔离梁、驱动支承梁、检...
闫鑫陈旭远伞海生
文献传递
一种可调整降低正交误差的微陀螺仪
一种可调整降低正交误差的微陀螺仪，涉及一种陀螺仪。设有下层为衬底，衬底表面设有悬浮结构层准备的深槽；上层为单晶硅整体制作通过局部刻蚀形成陀螺机械结构，包括驱动框架、检测质量块、悬浮检测电极质量块、电隔离梁、驱动支承梁、检...
闫鑫陈旭远伞海生
新型解耦式微陀螺的研究与设计及关键制造工艺的开发
过去二十年来,随着MEMS技术的发展,硅微陀螺仪作为检测角速率或者角度的传感器,受到越来越多的关注,产品已应用于图像稳定系统,汽车安全系统以及导航与制导系统等。当输入角速度时,哥式效应的作用使得能量从驱动模态向检测模态发...
闫鑫
关键词：硅微陀螺仪角速率
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共1页<1>
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