闫睿
- 作品数：5 被引量：24H指数：2
- 供职机构：清华大学更多>>
- 相关领域：一般工业技术建筑科学电子电信机械工程更多>>
- 定容法正压漏孔校准装置被引量：14
- 2014年
- 研制出定容法正压漏孔校准装置。采用满量程分别为133 Pa（差压式）、1.33×10^5Pa（绝压式）的两台高精度电容薄膜真空计测量压力变化,通过全金属密封结构减小定容室漏放气对测量结果的影响;采用高精度半导体双级恒温系统获得了296±0.02 K的恒温效果,减小温度对漏孔漏率的影响;通过三个不同的标准体积作为定容室,拓宽装置的校准范围。研究结果证实,研制的校准装置仅采用定容法实现了3×10^-1~4×10^-8Pa·m^3/s的校准范围,合成标准不确定度为1.2%~3.2%。
- 卢耀文齐京陈旭刘志宏张明志闫睿徐天伟查良镇
- 关键词：正压漏孔校准检漏定容法
- 一种基于对称结构的材料放气率测量装置
- 为了提高材料放气率的测量效率和测量小于10~(-8)Pam~3/s的放气量,在原有基础上优化设计出一种基于对称结构的新型材料放气率测量装置。装置采用对称结构的四个相同耐高温特殊材料真空管作为样品室(体积小于0.5L),与...
- 齐京卢耀文闫睿
- 关键词：放气率真空材料累积法
- 文献传递
- 一种下限为1.3×10^(-14)Pa·m^3/s的真空漏孔校准装置被引量：18
- 2014年
- 为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计作为比较器测量示漏He气离子流大小,通过累积的方法解决了质谱分析室中示漏气体分压力测量问题;采用激光打孔和多次镀膜的方式获得10-10m3/s量级的分子流导,用吸气剂泵将真空室本底压力维持在10-7Pa量级,使磁悬浮转子真空计对固定流导元件入口He气压力测量下限可达10-4Pa,从而获得下限为1.3×10-14Pa·m3/s的标准气体流量。研究结果表明,装置采用He气作为示漏气体的校准范围为10-12~1.3×10-14Pa·m3/s,合成标准不确定度为5.2%~5.8%。
- 卢耀文陈旭李得天齐京刘波闫睿查良镇
- 关键词：累积法固定流导法真空漏孔漏率
- 一种下限为5×10-16Pam3/s的超灵敏度检漏技术
- 真空器件在微电子、半导体、航空航天、核工业、船舶、医疗卫生等行业得到广泛应用,器件封装时的漏率检测是质量控制的关键因素.当前,一些领域对器件提出了长寿命高可靠(寿命在15年以上)的要求,需要器件封装时的漏率小于 10-1...
- 卢耀文李得天齐京闫睿延峰余荣董云宁查良镇
- 关键词：真空器件合成标准不确定度
- 一种基于对称结构的材料放气率测量装置
- 为了提高材料放气率的测量效率和测量小于10-8 Pam3/s 的放气量，在原有基础上优化设计出一种基于对称结构的新型材料放气率测量装置.装置采用对称结构的四个相同耐高温特殊材料真空管作为样品室(体积小于0.5L)，与不锈...
- 齐京卢耀文闫睿
- 关键词：放气率真空材料累积法
