田学红
- 作品数：10 被引量：38H指数：4
- 供职机构：中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程金属学及工艺更多>>
- 接近式光刻的计算机模拟研究被引量：8
- 2003年
- 分析了菲涅耳近似模型在接近式光刻模拟中的应用和误差起源 ,并根据光的标量衍射理论 ,对菲涅耳近似模型进行了修正 ,得到了更加准确的类菲涅耳近似模型 ;
- 田学红刘刚田扬超张新夷张鹏
- 关键词：接近式光刻计算机模拟菲涅耳衍射微机电系统
- 接近式光刻的计算机模拟研究被引量：5
- 2003年
- 在接近式光刻中,衬底上的光强分布主要是受掩模与衬底间的间隙引起的衍射影响。一般的模拟分析中,都是利用菲涅尔近似模型进行分析。根据光的标量衍射理论,分析了菲涅尔近似模拟的误差起源,并对菲涅耳近似模型进行了修正,得到了更加准确的类菲涅耳近似模型,对这两种模型的模拟结果进行了比较。结果表明,即使在比较接近掩模表面或非傍轴条件下,类菲涅尔近似模型也能够得到比较精确的模拟结果。
- 田学红刘刚田扬超张新夷张鹏
- 关键词：接近式光刻计算机模拟标量衍射理论
- 接近式光刻的计算机模拟研究
- 分析了菲涅耳近似模型在接近式光刻模拟中的应用和误差起源,并根据光的标量衍射理论,对菲涅耳近似模型进行了修正,得到了更加准确的类菲涅耳近似模型;并对这两种模型的模拟结果进行了比较.
- 田学红刘刚田扬超张新夷张鹏
- 关键词：接近式光刻菲涅耳衍射计算机模拟光刻模拟
- 文献传递
- 深度光刻计算机模拟及实验研究
- 深度光刻是LIGA工艺的核心技术之一,是获得高精度大高度比微结构的关键工艺.随着LIGA技术在微电子机械系统加工工艺中的广泛应用,尤其是在生物科学技术领域的广泛应用,深度光刻技术也越来越成为研究应用的热点.然而对于深度光...
- 田学红
- 文献传递
- 合肥光源深X-射线光刻模拟被引量：4
- 2002年
- 论文对合肥同步辐射光源开展深度X 射线光刻进行了理论模拟 .利用Gauss积分法研究了菲涅耳衍射对深度光刻图形精度的影响 .为了模拟衬底产生的光电子对光刻结果的影响 ,构建了一个MonteCarlo模型并进行了模拟 .计算结果表明 。
- 田学红刘刚田扬超张新夷
- 关键词：菲涅耳衍射光电子同步辐射光源
- SU-8的紫外深度光刻模拟被引量：12
- 2002年
- 在微电子机械系统 (MEMS)中 ,大高宽比微结构被广泛应用。由于紫外光衍射效应比较大 ,通过紫外光刻获得高精度的大高度微结构并不容易。本文主要研究了衍射效应对深紫外光刻精度的影响 ,并与实验结果进行了比较 ,理论模拟结果和实验比较吻合。因此 ,通过模拟结果得到不同厚度光刻胶的最佳曝光剂量 。
- 田学红刘刚田扬超张新夷
- 关键词：SU-8紫外光刻MEMS光刻胶
- 电铸制作低摩擦系数微电子机械模具的方法
- 2004年
- 田扬超刘刚张鹏田学红
- 关键词：低摩擦系数微电子机械
- 一种采用电铸制作低摩擦系数微电子机械模具的方法
- 本发明低摩擦系数复合材料微电子机械模具制作方法，特征是在常规LIGA技术的电铸工艺前，将含微电子机械光刻胶图形的金属基片放入每升电镀液中含5－40g低摩擦系数材料的电镀液中进行电镀；所述低摩擦系数材料可选用聚四氟乙烯或/...
- 田扬超刘刚张鹏田学红
- 文献传递
- SU-8深紫外光刻研究结果
- 本文主要给出了利用SU-8光刻胶进行深紫外光刻的研究结果.因为不同波长的紫外光在SU-8中的穿透深度不同,所以不同波段的紫外光刻结果也是不同的.本文从理论上给出了不同光刻深度选择波段的规则.本文还研究了菲涅耳衍射对光刻结...
- 田学红刘刚田扬超
- 关键词：SU-8菲涅耳衍射光刻胶
- 文献传递
- LIGA技术制造微流量计的研究被引量：10
- 2000年
- 介绍了利用LIGA技术中的同步辐射光刻、微电铸技术和微装配技术制作微流量计的研究 ,讨论了微流量计的结构和工作原理 ,设计和研制了一种微流量计。
- 刘刚田扬超洪义麟阚娅张鹏田学红伊福廷
- 关键词：微流量计LIGA微装配
