2024年8月22日
星期四
|
欢迎来到南京江宁区图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
王磊
作品数:
87
被引量:27
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
更多>>
发文基金:
国家高技术研究发展计划
国家自然科学基金
中国科学院知识创新工程
更多>>
相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
电气工程
机械工程
更多>>
合作作者
李博
中国科学院微电子研究所
景玉鹏
中国科学院微电子研究所
赵发展
中国科学院微电子研究所
韩郑生
中国科学院微电子研究所
张紫辰
中国科学院微电子研究所
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
80篇
专利
6篇
期刊文章
1篇
会议论文
领域
18篇
电子电信
8篇
自动化与计算...
7篇
电气工程
3篇
金属学及工艺
3篇
机械工程
2篇
石油与天然气...
2篇
理学
1篇
经济管理
1篇
化学工程
1篇
轻工技术与工...
1篇
医药卫生
1篇
一般工业技术
1篇
文化科学
主题
12篇
临界态
12篇
光刻
12篇
光刻胶
12篇
二次谐波
11篇
硅片
11篇
半导体
8篇
损失最小化
8篇
最小化
8篇
流体
8篇
混合流体
8篇
厚层
7篇
样片
7篇
刻蚀
7篇
发光
7篇
衬底
6篇
入射
6篇
气瓶
6篇
光学
5篇
光学系统
5篇
超临界
机构
87篇
中国科学院微...
2篇
中国科学院
1篇
北方工业大学
1篇
中国人民解放...
1篇
中国科学院大...
作者
87篇
王磊
46篇
李博
38篇
景玉鹏
19篇
韩郑生
19篇
赵发展
13篇
张紫辰
12篇
罗家俊
11篇
宿晓慧
10篇
滕瑞
8篇
刘海南
6篇
卜建辉
5篇
惠瑜
5篇
高超群
5篇
刘新宇
5篇
郑中山
5篇
高见头
4篇
高林春
3篇
周虹珊
2篇
孔延梅
2篇
李博
传媒
3篇
微纳电子技术
1篇
微处理机
1篇
传感器与微系...
1篇
现代应用物理
年份
9篇
2024
8篇
2023
21篇
2022
4篇
2021
1篇
2020
4篇
2019
1篇
2015
2篇
2014
8篇
2013
13篇
2012
7篇
2011
9篇
2010
共
87
条 记 录,以下是 1-10
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
一种超临界二氧化碳吹洗硅片系统
本实用新型公开了一种超临界二氧化碳吹洗硅片系统,包括:氟化氢源、液态二氧化碳源、第一流量控制阀、第二流量控制阀、加热器、高压泵、高压密闭腔室(5)、针型阀(8)、溢出腔(9)、碱性溶液(10)、过滤纯化装置(11)和冷凝...
王磊
惠瑜
高超群
景玉鹏
文献传递
一种二次谐波测量方法及测量仪器
本申请公开一种二次谐波测量方法及测量仪器,方法包括:获取入射激光束以第一入射角度照射在待测样品上形成的第一光斑面积;根据所述第一光斑面积和第一光学参数,获取标准光学功率密度;获取所述入射激光束以第二入射角度照射在所述待测...
赵泓达
李博
王磊
王然
张紫辰
张昆鹏
滕瑞
刘海南
赵发展
二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置
本发明提供了一种二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置,该二次谐波表征光学系统通过增加耦合联动机构,入射臂在圆弧导轨上滑动时,能够同步带动出射臂在圆弧导轨上耦合联动,使出射臂同步粗调到二次谐波信号的传输光路上,...
王然
张喆
张昆鹏
赵泓达
岳嵩
王磊
李博
张学文
张紫辰
文献传递
一种半导体器件的制作方法及半导体器件
本申请提供了一种半导体器件的制作方法,该半导体器件的制作方法,包括:提供一基板,具有相对的第一表面和第二表面;在第一表面形成功能层;在所述功能层的内部形成缺陷;在所述功能层背离所述基板一侧形成电极结构。通过向功能层发射高...
钟傲雪
朱慧平
王磊
陆芃
李晓静
李博
打孔系统及方法
本发明公开了一种打孔系统包括:CO<Sub>2</Sub>气瓶、HF气瓶、用于形成CO<Sub>2</Sub>和HF的混合气体且使所述混合气体中的CO<Sub>2</Sub>达到超临界态的控制装置及用于对玻璃片打孔的反应...
王磊
景玉鹏
文献传递
一种SRAM单元结构、SRAM存储器以及上电初始化方法
本发明公开一种SRAM单元结构、SRAM存储器以及上电初始化方法,属于半导体领域。以解决由于主从结构的引入增加了较多的晶体管和增加了较多的控制信号,会增大芯片面积,增加功耗的技术问题。所述SRAM单元结构包括存储元,所述...
宿晓慧
苏泽鑫
李博
王磊
张学文
罗家俊
韩郑生
文献传递
基于超临界二氧化碳微乳液干燥的装置及方法
本发明公开了一种基于超临界二氧化碳微乳液的干燥装置及方法,利用液态二氧化碳置换水基清洗液,然后加入表面活性剂并加热二氧化碳使其达到超临界态对光刻胶或MEMS中的微结构等进行干燥。该方法由于避免了气液界面的产生和防止了表面...
王磊
景玉鹏
文献传递
一种过渡金属硫化物及其制备方法
本发明公开了一种过渡金属硫化物的制备方法,包括:获得衬底,所述衬底包括氧化物层;在所述氧化物层上制备N层过渡金属硫化物,获得待处理样品;N≥2且为整数;对所述待处理样品进行射线辐照。上述方法通过射线辐照在衬底氧化物层与过...
朱慧平
熊国栋
李博
王磊
郑中山
李梦达
一种可检真空度的真空玻璃及系统
本发明提供的一种可检真空度的真空玻璃及系统,所述真空玻璃包括:第一平板玻璃、第二平板玻璃、封口片和真空计;所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃相对设置,所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃之间的边部设置有真空密封,所述第一平...
王磊
孔延梅
焦斌斌
李博
赵发展
韩郑生
罗家俊
刘新宇
文献传递
高温水蒸气和水混合射流清洗系统及方法
公开了一种清洗系统,包括:两个去离子水储罐、用于对去离子水加热并使其达到高温状态的控制装置、清洗腔室及用于将含去离子水和高温状态水蒸气的混合流体喷射到清洗腔室的喷射装置;其中,一去离子水储罐的出口通过所述控制装置与所述喷...
王磊
景玉鹏
文献传递
全选
清除
导出
共9页
<
1
2
3
4
5
6
7
8
9
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张