2024年8月22日
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王佩瑶
作品数:
4
被引量:10
H指数:1
供职机构:
东南大学
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发文基金:
电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室基金
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相关领域:
电子电信
医药卫生
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合作作者
师谦
信息产业部电子第五研究所
余存江
东南大学电子科学与工程学院微电...
恩云飞
信息产业部电子第五研究所
唐洁影
东南大学电子科学与工程学院微电...
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信息产业部电...
作者
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王佩瑶
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唐洁影
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恩云飞
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余存江
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师谦
传媒
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传感技术学报
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第八届中国微...
年份
1篇
2017
1篇
2007
2篇
2006
共
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MEMS微悬臂梁在冲击下的粘附失效预测
MEMS(Micro-electronics Mechanical System)的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的一个重要问题.多晶硅微悬臂梁是MEMS中的一个基本结构,本文阐述了多晶硅微悬臂梁的粘附失效机理,并...
王佩瑶
唐洁影
余存江
恩云飞
师谦
关键词:
MEMS
微悬臂梁
文献传递
多晶硅微悬臂梁粘附失效的可靠性分析
本文以表面加工多晶硅微悬臂梁为例从实验和理论两个方面分析了MEMS器件在微观领域中特有的粘附失效,并对它建立了粘附失效的可靠性模型。在理论分析中,分析了外界环境包括环境湿度、温度和接触表面粗糙度以及在工艺控制过程中由于温...
王佩瑶
关键词:
微机电系统
微悬臂梁
文献传递
微循环血液动力学分析在脑卒后血液灌注模拟中的应用
脑卒中是危害人类健康的重大疾病之一,具有较高的发病率、致死率和致残率。脑卒中的发病机制已经为人所知,并且针对不同发病机制的预防和治疗也逐渐成为临床研究的热点问题。脑卒中引起脑组织血流灌注减少,会导致血管发生自主调节和血管...
王佩瑶
关键词:
脑卒中
微循环
血液动力学
MEMS微悬臂梁在冲击下的粘附失效预测
被引量:9
2006年
MEMS(Micro-electronics Mechanical System)的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的一个重要问题.多晶硅微悬臂梁是MEMS中的一个基本结构,阐述了多晶硅微悬臂梁的粘附失效机理,并利用宏观机械中的理论和可靠性分析方法对表面微加工的多晶硅微悬臂梁的粘附可靠性进行预测,建立了在外载荷下的粘附可靠度预测模型,并利用该模型具体分析了微梁尺寸及外界湿度对可靠度的影响.
王佩瑶
唐洁影
余存江
恩云飞
师谦
关键词:
MEMS
微悬臂梁
可靠度
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