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汤起升

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:合肥工业大学更多>>
相关领域:一般工业技术更多>>

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇压印
  • 2篇全息
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米流体
  • 2篇键合
  • 2篇光刻
  • 2篇SU-8

机构

  • 2篇合肥工业大学

作者

  • 2篇李小军
  • 2篇金建
  • 2篇王旭迪
  • 2篇卢景景
  • 2篇汤起升

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2010
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
SU-8纳米流体系统的制作方法
本发明公开了一种SU-8纳米流体系统的制作方法,其特征是利用全息曝光技术制作光刻-压印组合模板,并将光刻压印组合模板应用于SU-8纳米流体系统的加工中,其中利用光刻-压印组合模板包含的不同部分具有的不同功能,并结合键合技...
王旭迪李小军汤起升金建卢景景
文献传递
SU-8纳米流体系统的制作方法
本发明公开了一种SU-8纳米流体系统的制作方法,其特征是利用全息曝光技术制作光刻-压印组合模板,并将光刻压印组合模板应用于SU-8纳米流体系统的加工中,其中利用光刻-压印组合模板包含的不同部分具有的不同功能,并结合键合技...
王旭迪李小军汤起升金建卢景景
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