段成龙
- 作品数：18 被引量：80H指数：6
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
- 碳化硅用多线切割机张力控制系统技术研究被引量：1
- 2021年
- 介绍了一种碳化硅用多线切割机张力控制系统的组成结构、工作原理,通过对多线切割机张力控制系统进行深入地理论研究,建立了控制系统的运动学和动力学模型。在此基础上,提出了一种PID速度同步跟随控制方案,经多次实验数据和结果表明,该方案可靠、稳定、控制精度高、调整方便。
- 董同社毛善高段成龙
- 关键词：碳化硅多线切割机
- 全自动半导体RCA清洗机被引量：6
- 2013年
- RCA清洗工艺是一种在半导体制造过程中被广泛应用的工艺,是去除硅片表面各类玷污的有效方法。本文介绍了RCA清洗工艺的原理、过程以及应用,并详细介绍了全自动半导体RCA清洗机的组成、各单元结构及功能。
- 段成龙祝福生
- 关键词：化学清洗全自动设备
- 湿法刻蚀及其均匀性技术探讨被引量：11
- 2012年
- 湿法刻蚀是化学清洗方法之一,是一种在半导体制造过程中被广泛应用的工艺,具有对器件损伤小、设备简单等特点。本文介绍了湿法刻蚀工艺的原理、工艺过程以及应用,分析了影响湿法刻蚀均匀性的主要因素,并提出提高刻蚀均匀性的方法。
- 段成龙舒福璋宋伟峰关宏武
- 关键词：湿法刻蚀刻蚀工艺半导体制造
- 圆片级电镀技术探讨
- 圆片级电镀技术已经成为一门独立于常规微电子电镀的专门技术。在圆片级电镀设备的技术指标要求中，高度均匀性是电镀凸点性能的主要衡量指标之一。因此，几乎所有的圆片级电镀设备都是围绕这一要求展开研制的。本文从最主要影响电镀效果的...
- 张伟锋曹颖杰李永红段成龙
- 文献传递
- 数控滚压机执行机构的虚拟设计与仿真分析
- 随着经济贸易的全球化，缩短开发周期，提高产品质量，降低成本以及对市场的灵活性反应，成为竞争者们所追求的目标，谁较早推出新产品，谁就占有市场。
然而，传统的设计与制造方式无法满足这些要求。在传统的设计与制造中...
- 段成龙
- 关键词：虚拟仿真技术计算机辅助工程
- AutoCAD的二次开发技术被引量：14
- 2005年
- 介绍了AutoCAD二次开发的发展历程和开发方法,并将几种传统的和现代的开发技术进行了比较,分析了它们各自的特点,进而提出了选择开发工具的依据和方法。
- 汪昌成段成龙曾小惠
- 关键词：AUTOCAD二次开发
- SAT与SST在半导体清洗工艺中的应用
- 2014年
- 针对芯片制造商对设备低投入高产出的要求,介绍了能将多种工艺集成在一起的工作台SAT(喷酸系统)与SST(喷雾溶剂系统),详细介绍了其工作原理及特点,并与清洗机+甩干机传统清洗及刻蚀方式进行了详细对比,根据厂商实际使用效果,可以看出这两种集成工作台可以有效降低成本,提高生产效率。
- 关宏武冯小强段成龙宋伟峰舒福璋
- 关键词：SATSST刻蚀
- 全自动高温湿法刻蚀设备的研制
- 2015年
- 介绍了高温湿法刻蚀设备在LED芯片制造中图形化衬底制备工艺(PSS)及激光正切后侧边腐蚀工艺两方面的应用;论述了高温强酸刻蚀湿法设备组成、结构及单元模块的功能。
- 祝福生段成龙
- 关键词：干法刻蚀湿法刻蚀
- 旋转式晶圆自动干燥装置的设计与研究被引量：1
- 2013年
- 阐述了制造半导体器件的晶圆在清洗过程中的高洁净度自动烘干环节的重要性,介绍了旋转式晶圆自动干燥装置的结构原理,设计并实现了适合于工业化生产的晶圆自动干燥装置,满足了半导体生产企业对晶圆表面的烘干要求。
- 陈平舒福璋段成龙郑佳晶
- 关键词：半导体生产
- 钻机中恒功率变量泵及其比例电磁铁的特性测试分析
- 2004年
- 本文介绍了恒功率变量泵的基本原理 ,讨论了比例电磁铁的特性 ,并且根据现场的测试数据 ,绘出了国产A7V电控比例变量泵比例电磁铁的特性曲线图。
- 刘桂芹江进国段成龙曹明
- 关键词：恒功率比例电磁铁钻机变量泵
