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林心如

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 3篇闪耀光栅
  • 3篇光栅
  • 2篇点胶
  • 2篇点胶机
  • 2篇探测器
  • 2篇热堆
  • 2篇介质
  • 2篇介质薄膜
  • 2篇光谱
  • 2篇光谱仪
  • 2篇光栅光谱仪
  • 1篇闪耀
  • 1篇微光机电系统
  • 1篇晶面
  • 1篇光机
  • 1篇光机电
  • 1篇光栅结构
  • 1篇红外

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇奚庆中
  • 3篇李铁
  • 3篇王翊
  • 3篇王跃林
  • 3篇林心如
  • 2篇周宏

年份

  • 1篇2009
  • 1篇2007
  • 1篇2006
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种基于(100)晶面硅锭制作的红外闪耀光栅结构及方法
李铁王翊王跃林林心如奚庆中
本发明涉及一种基于｛100｝晶面硅锭制作的红外闪耀光栅结构。其关键是对｛100｝晶面硅锭进行特定角度c切割形成基片，再对基片进行常规半导体工艺，包括光刻、氧化、各向异性湿法腐蚀等，从而制作出特定的闪耀光栅倾角，实现闪耀光...
关键词：
关键词：闪耀光栅红外微光机电系统
基于闪耀光栅和热堆探测器的微型集成光栅光谱仪及制作方法
本发明涉及一种基于闪耀光栅和热堆探测器的微型集成光栅光谱仪及制作方法，其特征在于由盖板、热堆阵列芯片和光栅芯片按顺序集成组合而成；其中盖板包括一个两面腐蚀的通光孔和下表面的浅槽；热堆阵列芯片的支撑框架支撑整个膜结构；热堆...
李铁王翊周宏王跃林林心如奚庆中
文献传递
基于闪耀光栅和热堆探测器的微型集成光栅光谱仪及制作方法
本发明涉及一种基于闪耀光栅和热堆探测器的微型集成光栅光谱仪及制作方法，其特征在于由盖板、热堆阵列芯片和光栅芯片按顺序集成组合而成；其中盖板包括一个两面腐蚀的通光孔和下表面的浅槽；热堆阵列芯片的支撑框架支撑整个膜结构；热堆...
李铁王翊周宏王跃林林心如奚庆中
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