李鸣鸣
- 作品数：9 被引量：97H指数：5
- 供职机构：上海大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信金属学及工艺更多>>
- 精密定位载物工作台的研制被引量：4
- 2005年
- 介绍了大行程纳米定位载物工作台中宏动系统的组成,研究了如何在传统的滚珠丝杠传动及直线滚珠导轨导向方式下,通过光栅测量装置检测并反馈控制系统,以及相应补偿等,使宏动载物工作台完成微定位要求的定位精度和分辨率的宏定位。
- 华晓青欧阳航空李鸣鸣葛轶君孙麟治
- 关键词：工作台丝杠传动大行程分辨率微定位滚珠
- 实验数据RBF神经网络模型中噪声的处理方法
- 实验数据的非线性建模,是对各种仪器、设备的性能进行校正和补偿的基础.讨论了神经网络非线性建模时数据中的噪声成分造成的过拟合现象以及对模型精度的影响,针对RBF网络给出了2种提高建模精度的方法:建模数据预处理法和网络参数优...
- 李鸣鸣龚振邦欧阳航空孙麟治
- 关键词：数据建模RBF神经网络噪声过拟合
- 文献传递
- 大行程纳米定位系统若干关键技术研究
- 随着IC制造工艺、超精密加工、精密仪器及生物医学工程等众多领域的不断发展，与之相关的设备对定位行程、定位精度的要求越来越高，因此大行程纳米定位技术在现代科学技术中起到十分关键的作用，近年来一直是精密工程领域的研究热点之一...
- 李鸣鸣
- 关键词：大行程
- 精密定位技术研究被引量：62
- 2005年
- 精密定位技术广泛应用于精密仪器、机械和机床I、C工艺制造、计算机外围设备。其特点是精度和分辨率高,台面尺寸从小到大,品种繁多,大多有自动化操作要求,需要集成许多高性能高品质机械零部件,高分辨力检测元器件,因此制作难度大,投资大。过去精密定位的精度和分辨率已从毫米量级过渡到了微米、从亚微米进入到了纳米量级。本文概述了获取高精度定位精度的支撑关键技术。介绍了基于宏微二级叠加方式的控制系统,研制的宏动工作台用精密滚珠丝杠螺母传动,由交流伺服驱动器驱动,配备反射式光栅检测元件,构成伺服反馈系统,并对其实际误差曲线进行线性补偿之后,可将定位误差从76μm降低到3μm;再在宏动工作台面上安装高精度的微动载物台,由计算机进行宏微切换,从宏运动过渡到微运动方式,可实现大行程纳米量级精密定位。
- 孙麟治李鸣鸣程维明
- 关键词：分辨率纳米
- 长光栅误差的神经网络建模分析被引量：5
- 2004年
- 在不需要任何先验知识的情况下,无论误差分布形式如何,直接利用实验数据对光栅测量系统建立径向基函数(RBF)神经网络模型。
- 李鸣鸣龚振邦
- 关键词：长光栅径向基函数神经网络
- 纳米定位系统动态误差灰色模型补偿方法研究被引量：8
- 2006年
- 对等步距多工位工作的纳米工作台,采用灰色模型能够同时对定位误差中的系统误差和随机误差进行动态补偿。讨论了提高灰色模型精度的方法,建立了改进背景值的等维新息GM(1,1)灰色预测模型。用5μm步距定位误差进行了一步预测分析,结果表明该模型具有较高的预测精度;5μm和3μm步距的定位误差预测补偿实验表明,工作台的定位误差可以控制在40 nm以内。实验证明了灰色预测模型用于纳米定位系统动态补偿的有效性,且需要的建模数据很少、计算量小,适用于具有时变特征的精密定位系统。
- 李鸣鸣龚振邦程维明孙麟治
- 关键词：动态补偿
- 精密定位技术研究
- 精密定位技术广泛应用于精密仪器、机械和机床、IC工艺制造、计算机外围设备.其特点是精度和分辨率高,台面尺寸从小到大,品种繁多,大多有自动化操作要求,需要集成许多高性能高品质机械零部件,高分辨力检测元器件,因此制作难度大,...
- 孙麟治李鸣鸣程维明
- 关键词：精密仪器
- 文献传递
- 实验数据RBF神经网络模型中噪声的处理方法被引量：11
- 2005年
- 实验数据的非线性建模,是对各种仪器、设备的性能进行校正和补偿的基础。讨论了神经网络非线性建模时数据中的噪声成分造成的过拟合现象以及对模型精度的影响,针对RBF网络给出了2种提高建模精度的方法:建模数据预处理法和网络参数优化法。在数据预处理方法中,根据建模样本的特点,分别采用滑动平均法和灰色模型法对原始建模数据进行修正,并分析了它们的适用场合;对于后一种方法,选择径向基函数分布宽度和学习目标进行优化。以精密平台为例进行了实验,通过对其定位误差的测量、建模和预测,证明了上述各种方法的有效性,特别是后一种方法,可以得到非常高的建模精度。
- 李鸣鸣龚振邦欧阳航空孙麟治
- 关键词：数据建模RBF网络噪声过拟合
- 精密直线运动平台的振动测试与分析
- 2006年
- 精密直线运动平台在宏微双驱动纳米定位系统中作为宏动台,用于实现大行程工作范围,解析其全工作行程上的振动特征,是微动台实现二级补偿运动的基础．通过构建以Labview软件为核心的虚拟仪器振动测试系统,采用小波变换方法对平台全工作行程运动过程中的振动测试数据进行分析,并与傅里叶变换分析方法进行了比较．由分析结果可知,两种分析方法得出了一致的结论,但小波变换分析方法可得到平台各个精确位置上的振动特性数据．实验证明,将其作为确定控制参数的依据,能改善平台的运动控制性能．
- 李鸣鸣欧阳航空龚振邦孙麟治
- 关键词：振动傅里叶变换小波变换多分辨率分析
