李东春
- 作品数:57 被引量:141H指数:7
- 供职机构:燕山大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金河北省自然科学基金博士科研启动基金更多>>
- 相关领域:化学工程一般工业技术理学金属学及工艺更多>>
- 硅片的在线电解修整超精密磨削被引量:12
- 1999年
- 用铸铁短纤维结合剂金刚石砂轮与脉冲电解修整相配合,对硅片进行了在线电解修整(ELID)超精密磨削。研究了磨削工艺多数对硅片的加工质量及磨削效率的影响,采用原子力显微镜(AFM)与扫描电子隧道显微镜(STM)对硅片磨削表面进行了形貌分析,探讨其微观磨削机理。结果表明,砂轮中金刚石磨粒对硅片表面进行间歇式破碎,微观磨痕为Z字型;硅片表面粗糙度可达纳米级,R_a=4.0nm、R_z=7.8nm;整个硅片(3#)厚度变差为1.5μm;磨削硅片的变质层主要为原子面扭曲展及过渡层;磨削效率达1.07×10~3mm^3/min。
- 于栋利李东春何巨龙田永君刘世民刁玉强
- 关键词:在线电解修整超精密磨削变质层硅片
- 用SACP技术研究ELID磨削后的单晶硅片表面变质层被引量:2
- 1996年
- 用SACP技术研究ELID磨削后的单晶硅片表面变质层*刘世民1,2于栋利2田永君2何巨龙2李东春2陈世镇2(1.秦皇岛玻璃研究设计院,秦皇岛066004)(2.燕山大学,秦皇岛066004)单晶硅片的表面质量是制约制造超大规模集成电路成品率的主要因素...
- 刘世民于栋利田永君何巨龙李东春陈世镇
- 关键词:单晶硅片
- 磷含量对铸铁短纤维烧结体组织和性能的影响被引量:1
- 1995年
- 研究了合金元素磷对铸铁短纤维烧结体显微组织和性能的影响。结果表明,磷可显著提高铸铁短纤维烧结体的密度、致密化系数、压溃强度和硬度。烧结机理随磷、银含量的增加逐渐由固相烧结+瞬态液相烧结转变为液相烧结。
- 何巨龙于栋利田永君陈世镇李东春
- 关键词:合金元素显微组织磷
- 离子束溅射制备立方C—N化合物
- 2000年
- 用氮离子束分别原位溅射 Ti和石墨靶的方法制备了 CNx/TiNy多层膜用 X射线光电子谱分析 CNx层中 C和N的键合状态,用透射电镜观察薄膜中的相形貌,用电子衍射和 X射线衍射的方法分析相的结构.结果表明, CNx层中主要有 N—sp2C和 N—sp3C两种键合状态,薄膜中观察到的 C-N化合物尺寸为 10-60nm的晶体颗粒,其衍射数据可用立方C3N4结构标定.证实了该薄膜中存在立方
- 王天生于栋利田永君何巨龙李东春李林
- 关键词:离子束溅射
- 超厚浮法玻璃均匀性的检测与分析
- 浮法玻璃的均匀性一直是浮法玻璃质量控制的中心问题,而玻璃均匀性与配合料质量、玻璃液熔化条件、耐火材料的侵蚀、熔化中玻璃液成分的波动和成型过程中冷却效果等诸多因素密切相关。为此开发的浮法玻璃检测技术不仅可以直观地观察玻璃端...
- 于栋利刘世民田永君许哲峰罗晓光何巨龙李东春
- 文献传递
- 高温处理对乱层石墨结构B-C-N晶化的作用
- 2001年
- 采用化学法合成了乱层石墨结构B—C—N化合物,在不同温度下进行高温处理后,经X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、高分辨电子显微镜(HREM)和X射线能谱(EDX)对合成产物的结构、晶体学参数、成分等进行分析。结果表明,处理温度对乱层石墨结构B—C—N化合物的晶化有较大影响。随处理温度增加,B—C—N化合物由乱层石墨结构向多晶体转变。1600℃处理后可以得到纯六方B—C—N多晶固溶体,晶格参数为α=0.251mm,c=0.666mm。EDX测定出晶化后B—C—N化合物的成分为B_(0.41)C_(0.09)N_(0.50)。
- 何巨龙田永君于栋利刘世民李东春
- 关键词:化学合成晶化高温处理
- 浮法玻璃下表面渗锡的X射线光电子谱被引量:5
- 2005年
- 利用X射线光电子谱仪(X-ray photoelectron spectroscopy,XPS)对国内外浮法玻璃样品(样品A和样品B)下表面渗锡情况进行了对比分析。结果表明:在浮法玻璃下表面900nm范围内,2种样品中的锡离子在渗锡面均以Sn0,Sn^(2+),Sn^(4+)3种价态存在,Sn^(2+)在整个渗锡量中均占最大比例。在近表面区,渗锡均以Sn^(2+)态为主,Sn0和Sn^(2+)含量之和均占到总渗锡量的90%以上,且样品A渗锡量远远高于样品B的渗锡量。样品A的不同锡离子相对含量沿深度变化较大,而样品B的不同锡离子相对含量沿深度变化小于1%。结合扫描电子显微镜形貌观察可知:钢化虹彩现象是由钢化处理中,Sn^(2+)转变为Sn^(4+)的氧化反应导致的体积膨胀引起的。在该反应过程中单胞体积增大3%。综合XPS与钢化虹彩实验结果可知,XPS分析可以有效而精确地提供浮法玻璃中锡的价态以及含量信息。
- 刘世民秦国强许哲峰于栋利李东春
- 关键词:浮法玻璃X射线光电子谱钢化虹彩
- 六方(B_(1-x)C_x)N多晶粉末的化学合成
- 2001年
- 采用硼酸(H3BO3)和三聚氰胺(C3N6H6)合成单相六方B-C—N多晶粉末,用X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)、高分辨电镜(HREM)和电子能量损失谱(EELS)对合成产物的结构、晶体学参数、成分等进行了分析.结果表明,H3BO3和 C3N6H6的配比对产物的组成有较大影响.当二者的质量比为 1:2时,可以得到单相六方 B—C—N多晶固溶体,其晶格参数 a= 0.251nm, c= 0.666 nm.从 HREM照片观察到层片结晶性较好,而且晶体结构完整.用 EELS分析得到产物的化学成分为(B1-xCx)N,其中x= 0.09—0.18.
- 何巨龙田永君于栋利刘世民李阿丹胡前库李东春
- 关键词:B-C-N化学合成晶体结构六方氮化硼超硬材料
- B-C-N新材料的人工合成被引量:1
- 2000年
- 在论述碳(C)和氮化硼(BN)的结构及特性的基础上,综述了近年来人工合成B-C-N新材料的方法、合成产物的结构及其物理化学特性,介绍了作者采用化学法和高温高压工艺合成B-C-N材料的最新进展,提出了今后的发展方向。
- 李东春何巨龙于栋利田永君刘世民柳泽平
- 关键词:B-C-N化学法
- 铝在室温熔盐中的电沉积被引量:7
- 2003年
- 介绍了在室温熔盐中铝的电沉积。着重介绍了在卤化铝、有机烷基吡啶铝、烷基咪唑鎓盐铝、三甲基苯胺氯化物等熔盐中铝的电沉积情况;介绍了熔盐的组成、铝电沉积时的电流密度、电流效率和沉积层的厚度等;在室温熔盐中铝的电沉积机理以及在工业生产中的应用前景。
- 孙淑萍李东春
- 关键词:铝电沉积室温熔盐