宋超
- 作品数：4 被引量：7H指数：1
- 供职机构：广东工业大学更多>>
- 发文基金：广州市科技计划项目广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 用于光刻的准分子激光束整形及其研究进展被引量：6
- 2007年
- 阐述了在光刻应用中准分子激光束整形的原因和整形前后光束能量空间分布结果,并对建立准分子激光束整形的理论模型——高斯-谢尔模型(GSM)的方法进行了介绍。总结和分析了微透镜阵列和衍射相位光栅等光束均质器用于光刻激光束整形的优缺点,包括它们的整形能力、能量损失、干涉效应以及波前和振幅均匀化控制等;同时对主要整形器件的原理、特性和进展情况进行了简要综述。
- 林清华宋超王鲁宾周金运
- 关键词：激光技术光刻微透镜阵列
- PCB激光投影光刻照明系统的设计被引量：1
- 2007年
- 针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其照明系统进行了模拟设计与优化,并对优化后的结果进行了分析.对于设计的照明系统,其像面均匀性、光斑大小和形状、像差以及照明系统与投影物镜的匹配都符合实际要求.
- 林清华李文静宋超王鲁宾
- 关键词：印制电路板照明系统
- 大面积大行程激光投影成像曝光机工作台的研究
- 高精度和高分辨率的精密宏、微位移工作台系统在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位，它直接影响精密、超精密加工精度、精密测量精度及超大规模印制电路板和液晶显示器的生产水平.
本文通过对工作台本身机构...
- 宋超
- 关键词：激光投影伺服电机直线电机
- 文献传递
- 基于视频共焦显微镜光刻对准系统设计研究
- 2008年
- 针对目前研究的激光投影光刻机的对准需要,设计了一套基于视频图像对准原理的激光投影光刻对准系统。详细分析了共焦显微镜和CCD相关双采样图像处理关键技术在本系统中的应用,结果表明CCD图像的质量明显提高,从而提高了视频图像对准系统的精度,完全满足系统分辨精度2.5μm的要求。
- 王鲁宾周金运宋超
- 关键词：视频图像共焦显微镜相关双采样
