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吴燕华

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>

合作作者

题名
作者

文献类型

  • 8篇中文专利

主题

  • 4篇机械手
  • 2篇弹簧
  • 2篇底盘
  • 2篇顶针
  • 2篇定位机构
  • 2篇动力传递
  • 2篇镀膜
  • 2篇压板
  • 2篇真空
  • 2篇伸缩臂
  • 2篇偏转
  • 2篇片盒
  • 2篇腔面
  • 2篇芯片
  • 2篇力传递
  • 2篇密封
  • 2篇解理
  • 2篇晶片
  • 2篇激光
  • 2篇激光器

机构

  • 8篇中国科学院

作者

  • 8篇杨辉
  • 8篇张宝顺
  • 8篇吴燕华
  • 6篇曾中明
  • 4篇李智
  • 2篇刘德利
  • 2篇冯美鑫

年份

  • 2篇2017
  • 1篇2016
  • 3篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2013
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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一种机械手操作系统
本发明揭示了一种机械手操作系统，包括真空腔室、位于真空腔室内的双头机械手以及位于真空腔室外的驱动装置，所述的双头机械手和驱动装置之间设有传动装置，驱动装置通过传动装置将动力传递至双头机械手，并驱动所述双头机械手进行双向伸...
吴燕华李智曾中明张宝顺杨辉
文献传递
真空解理系统及解理半导体芯片的方法
本发明提供一种真空解理系统，包括解理装置，其包括第一进样台及对应于所述第一进样台设置的劈刀，用于半导体芯片的输送及解理成巴条；设有第二进样台的陪片输送装置，用于往所述巴条之间插入陪片；以及，设有巴条盒的采样装置，所述采样...
吴燕华刘德利冯美鑫曾中明张宝顺杨辉
文献传递
平面关节型机械手
本发明涉及机械手领域，特别是涉及一种平面关节型机械手。包括：由密封板和真空盖罩构成的真空腔体，真空腔体内部、置于所述密封板上的执行机构，真空腔体外的驱动机构；所述执行机构包括依次连接的第一小臂，第二小臂，第三小臂和第四小...
杨辉张宝顺吴燕华
文献传递
晶片定位机构
本发明涉及一种晶片定位机构。包括压紧部件、推拉轴、2个侧面定位墙和片盒底盘；所述压紧部件包括带下压板的主体，一端固定在主体上、且能与下压板重叠的上压板；所述压紧部件与所述推拉轴固定连接，2个侧面定位墙间隔预设距离竖直设置...
吴燕华李智曾中明张宝顺杨辉
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一种机械手操作系统
本发明揭示了一种机械手操作系统，包括真空腔室、位于真空腔室内的双头机械手以及位于真空腔室外的驱动装置，所述的双头机械手和驱动装置之间设有传动装置，驱动装置通过传动装置将动力传递至双头机械手，并驱动所述双头机械手进行双向伸...
吴燕华李智曾中明张宝顺杨辉
文献传递
真空解理系统及解理半导体芯片的方法
本发明提供一种真空解理系统，包括解理装置，其包括第一进样台及对应于所述第一进样台设置的劈刀，用于半导体芯片的输送及解理成巴条；设有第二进样台的陪片输送装置，用于往所述巴条之间插入陪片；以及，设有巴条盒的采样装置，所述采样...
吴燕华刘德利冯美鑫曾中明张宝顺杨辉
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晶片定位机构
本发明涉及一种晶片定位机构。包括压紧部件、推拉轴、2个侧面定位墙和片盒底盘；所述压紧部件包括带下压板的主体，一端固定在主体上、且能与下压板重叠的上压板；所述压紧部件与所述推拉轴固定连接，2个侧面定位墙间隔预设距离竖直设置...
吴燕华李智曾中明张宝顺杨辉
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平面关节型机械手
本发明涉及机械手领域，特别是涉及一种平面关节型机械手。包括：由密封板和真空盖罩构成的真空腔体，真空腔体内部、置于所述密封板上的执行机构，真空腔体外的驱动机构；所述执行机构包括依次连接的第一小臂，第二小臂，第三小臂和第四小...
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