卢平和
- 作品数：10 被引量：9H指数：2
- 供职机构：复旦大学化学系激光化学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信一般工业技术更多>>
- 激光光解和脱附法产生超热氯原子被引量：1
- 1995年
- 本文采用３５５ｎｍ脉冲激光脱附和光解一些金属氯化物（ＣｕＣｌ２，ＡｇＣｌ和ＣｓＣｌ）薄膜产生高动能的超热氯原子．用飞行时间质谱法测得生成的Ｃｌ原子的动能分布很宽，最大动能可达６ｅＶ左右．氯化物薄膜厚度对Ｃｌ原子的最大动能有明显的影响．增加激光能量密度将使Ｃｌ原子最大动能迅速增高．此外，还讨论了上述产生起热Ｃｌ原子的机理．
- 罗昶卢平和侯惠奇秦启宗
- 关键词：激光光解氯原子
- 用于气-固表面反应研究的多功能分子束实验装置被引量：2
- 1992年
- 本文介绍由复旦大学激光化学实验室建造的一台多功能分子束实验装置,该装置的主要部份包括:配有三级差分抽气系统的CW超声分子束源,在中心部位装有可转动固体样品架的主室,放置四极质谱计的探测室,以及计算机数据采集系统.谈装置中的束源是固定的,而用于测量产物角分布的探测室是可转动的.其主要特色在于探测室围绕反应中心转动时,二台差分抽气用的离子泵是固定不动的,探测室与离子泵机组之间采用可弯曲的不锈钢波纹管软连接,从而使其结构紧凑,造价低廉,此外,该装置还可用于交叉分子束实验,分子束光裂解以及分子束弛豫谱等研究.
- 秦启宗杨永炎章壮健李雨林卢平和金忠余敏刘先年蔡中厚郑企克
- 关键词：分子束反应动力学
- 超声分子束研究激光诱导Cl_2和Ta表面反应动态学
- 1990年
- 本文研究了在三种不同波长的脉冲激光(365 nm,560 nm和1064 nm)辐照下超声Cl_2分子束与多晶Ta表面的化学反应动态学.由四极质谱和飞行时间增(TOF)测定了产物的质量分布和速度分布.该反应的主要产物为TaCl,TaCl_2,TaCl_3及TaCl_4;它们的TOF谱都可用Maxwell-Boltzmann分布拟合,所得的平动温度分别在500K—1500K范围内.测定了各种产物相对产率与激光能量密度和入的Cl_2分子平动能的关系.此外,对此气-固表面反应的机理进行了讨论。
- 卢平和李雨林张抗战金忠秦启宗
- 关键词：氯钽激光诱导
- 氯分子束与InP(100)表面反应散射的角分布研究
- 1993年
- 采用角分辨分子束散射技术研究了Cl_2与InP(100)表面热反应和激光诱导反应产物的角分布.对于热反应,由调制分子束和可转动四极质谱仪测得产物离子InCl^+、InCl_2^+、PCl^+、PCl_2^+和P_4^+的角分布,都可用cos^(1·(?))θ函数报合.对于紫外(355nm)激光诱导反应,由飞行时间质谱法测得主要产物离子的角分布明显地偏离Knudsen 定律.其中In^+,InCl^+和InCl_2^+的角分布可用α·cosθ+(1-α)cos^nθ函数拟合,其中α和n为拟合参数,对于不同的产物离子有不同的数值.由实验测得的脱附粒子的通量和能量在表面法线方向有明显地聚集现象,可以认为产物从表面上脱附的机理,除了热脱附之外,还有非热脱附以及在表面附近脱附粒子的碰撞效应.
- 卢平和秦启宗
- 关键词：分子束反应散射磷化铟
- 飞行时间法研究激光诱导金属表面蚀刻反应动力学被引量：4
- 1993年
- 本文研究了紫外(355um)、可见(560nm)和近红外(1064nm)脉冲激光辐照下Cl_2分子束与 Al,Cu和Ti金属表面蚀刻反应动力学.由四极质谱测得的不同反应产物离子的飞行时间谱,满意地采用三种不同形式的Maxwell分布进行了拟合,并得出上述各反应的产物质量分布和速度分布.同时还研究了不同波长的激光对金属表面蚀刻反应的影响。
- 卢平和秦启宗
- 关键词：激光化学
- 角分辨飞行时间法研究GaAs(100)表面蚀刻反应动力学
- 1994年
- 本文采用探测室可转动的分子束实验装置,研究了氯分子束与GaAS(100)表面热反应和紫外激光诱导反应的动力学.结果表明.热反应的主要产物为GaCl_3,其角分布可用cos^(2.3)θ函数拟合.对于紫外(355nm)激光诱导反应,由角分辨的飞行时间(TOF)法测得主要产物为GaCl等,它们的通量角分布须用双余弦加和公式(c_1cosθ+c_2cos^nθ)拟合,表示产物粒子在表面法线方向明显聚集,而且由TOF谱求得粒子的动能在表面法线方向最大.这种明显的聚集现象可以由激光诱导的粒子在表面附近发生碰撞效应来解释.
- 卢平和张抗战郑企克秦启宗
- 关键词：分子束砷化镓飞行时间质谱
- 氯分子束与钛表面激光化学反应动力学
- 1993年
- 本文采用飞行时间质谱技术测定了在紫外(355nm)、可见(560nm)和近红外(1064nm)脉冲激光作用下,氯分子束与Ti表面反应产物的质量分布和速度分布.所得结果表明,不同波长激光诱导反应的主要产物相同,有Ti,TiCl,TiCl_2,TiCl_3和TiCl_4.在高能量密度的紫外激光作用下,首次测得具有很高动能的原生Ti^+.各种含Ti氯化物的飞行时间谱,能满意地用.单组分或多组分Maxwell-Boltzmann公式拟合和分析.上述激光诱导气-固表面反应的机理主要由氯分子在Ti表面上的解离吸附,吸附态氯原子在表面上生成TiCl_x(x=1～4)的连串反应以及激光诱导脱附所组成.近红外激光主要引起热脱附,而紫外激光的作用还可能有非热脱附过程.
- 卢平和秦启宗
- 关键词：钛反应动力学氯
- FD-1型多功能超声分子束装置的研制被引量：2
- 1991年
- 本文介绍了一种探测器可转动的新型多功能超声分子束设备,探测器的内外二室分别由两台离子泵进行抽气(高分辨率四极滤质器及离子-电子倍增器置于探测器的内室)。这内外二室各经不锈钢波纹管与离子泵相连接,因此,在离子泵位置固定的情况下,探测器可围绕碰撞中心转动120度。高压气体经喷口绝热膨胀及三级差分抽气而形成分子束,在喷管中氩气压强为600Torr时,分子束设备碰撞中心处的束流强度可达1.4×10^(17)个分子/厘米~2·秒,用可转动的探测器测得分子束发散角的半宽度约为2度。文中也给出了分子束由固体表面散射后的角分布曲线。最后,介绍了在激光诱导气固相反应中,反应速率将随入射氯分子平动能的增大而明显增加。
- 章壮健杨永炎李雨林卢平和金忠余敏刘先年郑企克秦启宗
- 关键词：分子束离子泵束流强度固相反应表面散射
- 1064nm脉冲激光诱导Cl_2对GaAs(100)表面蚀刻反应动力学
- 1993年
- 本文采用超声分子束和角分辨的时间分辨质谱技术,研究1064nm脉冲激光辐照下Cl_2对GaAs(100)单晶表面的蚀刻反应动力学。测量了反应产物的质量分布,速度分布和空间角分布。通过研究激光能量密度对反应产物产率的影响,认为近红外激光的作用主要是通过加热表面脱附反应产物。同时还发现增加入射Cl_2的平动能和它在表面法线方向的分量可提高反应产物的产率。
- 张抗战卢平和秦启宗
- 关键词：激光诱导砷化镓蚀刻
- 激光诱导金属和InP表面化学反应动态学
- 卢平和
