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刘焕明

作品数：31 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 31篇中文专利

领域

  • 8篇电子电信
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 6篇钝化层
  • 6篇离子注入
  • 4篇总磷
  • 4篇肖特基
  • 4篇肖特基二极管
  • 4篇离子注入工艺
  • 4篇互连
  • 4篇光刻
  • 4篇硅基
  • 4篇二极管
  • 4篇半导体
  • 4篇SUB
  • 3篇牺牲层
  • 3篇刻蚀
  • 3篇光互连
  • 3篇光纤
  • 3篇光子
  • 2篇低浓度
  • 2篇低损耗
  • 2篇度条件

机构

  • 31篇中国科学院微...

作者

  • 31篇周静涛
  • 31篇刘焕明
  • 30篇杨成樾
  • 27篇申华军
  • 21篇刘新宇
  • 15篇李博
  • 13篇汤益丹
  • 13篇白云
  • 6篇张慧慧
  • 5篇吴德馨
  • 3篇刘洪刚
  • 3篇贾锐

年份

  • 2篇2015
  • 5篇2014
  • 6篇2013
  • 13篇2012
  • 5篇2011
共 31 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
级联型光纤总磷含量检测传感器及其制作方法
本发明公开了一种级联型光纤总磷含量检测传感器，该传感器包括一单模光纤和一多模光纤，且单模光纤和多模光纤以级联的方式相距一定长度固定安装在同一个带有V型槽的基板上，其中光信号输入端为一单模光纤，光信号输出端为一多模光纤，两...
杨成樾周静涛刘焕明申华军
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防止钝化层过刻蚀的方法
本发明公开了防止钝化层过刻蚀的方法。该方法包括：步骤A，在衬底上制备两层致密性不同的钝化层，靠近衬底侧的钝化层为致密钝化层，远离衬底侧的钝化层为疏松钝化层；步骤B，在钝化层上旋涂光刻胶，按照预设的元件模板对光刻胶进行曝光...
李博申华军白云汤益丹刘焕明周静涛杨成樾刘新宇
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SiC结势垒肖特基二极管及其制作方法
本发明提供SiC结势垒肖特基二极管，包括肖特基金属下的P型区，所述肖特基金属下的P型区分别由P<Sup>+</Sup>-SiC和P<Sup>-</Sup>-SiC两个区域构成；所述SiC结势垒肖特基二极管的结终端延伸区域...
白云申华军汤益丹李博周静涛杨成樾刘焕明刘新宇
基于光子晶体自准直效应的光模数转换器量化方法
本发明公开了一种基于光子晶体自准直效应的光模数转换器量化方法，该方法包括：在二维介质基板中填充一种填充介质，并在介质基板上引入正三角晶格的另一种填充介质，形成光子晶体自准直结构；依据该光子晶体自准直结构的透射谱确定透射率...
周静涛刘新宇申华军张慧慧杨成樾刘焕明
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金铁合金互联线及其制作方法
本发明公开了一种金铁合金互联线及其制作方法。该金铁合金互联线含有金和铁两种元素，铁的含量在0.1％至0.5％之间，该方法包括：溶液的配置；清洗半导体芯片；在清洗干净的半导体芯片上涂上一层光刻胶，然后曝光、显影，光刻出需要...
刘焕明周静涛李博刘新宇
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一种在SiC材料上生长SiO<Sub>2</Sub>钝化层的方法
本发明公开了一种在SiC材料上生长SiO<Sub>2</Sub>钝化层的方法，属于在半导体材料上生长钝化层的技术领域。所述方法包括采用PECVD在SiC材料上生长SiO<Sub>2</Sub>钝化层和对SiO<Sub>2...
李博申华军白云汤益丹刘焕明周静涛杨成樾
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具有可插拔结构的透镜光纤、透镜光纤阵列及其制备方法
本发明公开了一种具有可插拔结构的透镜光纤、透镜光纤阵列及其制备方法。其中，具有可插拔结构的透镜光纤包括微透镜、平头光纤；所述微透镜与所述平头光纤通过所述微透镜上的定位通孔活动连接。制作具有可插拔结构的透镜光纤的方法包括：...
杨成樾周静涛刘焕明申华军
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一种在SiC材料上生长SiO<Sub>2</Sub>钝化层的方法
本发明公开了一种在SiC材料上生长SiO<Sub>2</Sub>钝化层的方法，属于在半导体材料上生长钝化层的技术领域。所述方法包括采用PECVD在SiC材料上生长SiO<Sub>2</Sub>钝化层和对SiO<Sub>2...
李博申华军白云汤益丹刘焕明周静涛杨成樾
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一种应用于总磷检测的倏逝波光传感测试系统及方法
本发明公开了一种应用于总磷检测的倏逝波光传感测试系统及方法。该系统包括半导体激光器光源、输入光纤、光纤微动架、微纳光波导倏逝波光传感器、输出光纤、光纤微动架和光电二极管。该方法包括：首先，在待测溶液中加入显色试剂，该显色...
周静涛贾锐刘焕明杨成樾申华军刘新宇
硅基复合介质模斑转换器及其制备方法
本发明公开了一种硅基复合介质模斑转换器及其制备方法。该模斑转换器在沿光传输方向上交替由硅和氧化硅两种材料按不同的组分比例排列在一起，构成周期结构。通过两种材料组分比例的变化实现模斑转换器等效折介质射率的变化，进而实现光斑...
杨成樾周静涛张慧慧刘焕明
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