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冯亚瀛
作品数:
9
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供职机构:
北京科技大学
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
陈翔
北京科技大学
闫小琴
北京科技大学
张跃
北京科技大学
李欣
北京科技大学
申衍伟
北京科技大学
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机构
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作者
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张跃
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陈翔
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冯亚瀛
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申衍伟
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李欣
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孙国帅
3篇
冯韵迪
3篇
李峻野
3篇
徐佳亮
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方思萦
年份
1篇
2016
2篇
2014
4篇
2013
2篇
2012
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9
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一种光刻胶模板及图案化ZnO纳米棒阵列的制备方法
本发明公开了一种三光束激光干涉制备光刻胶模板的方法以及利用此方法制备图案化ZnO纳米棒阵列的应用,借助三光束激光干涉图案化技术,单次曝光快速生成大面积六角排列圆形孔洞模板,利用该模板对ZnO纳米棒阵列进行限域水热生长,从...
张跃
陈翔
闫小琴
李欣
冯亚瀛
郑鑫
申衍伟
文献传递
一种Si纳米井/ZnO纳米棒阵列二级结构的制备方法
一种Si纳米井/ZnO纳米棒阵列二级结构的制备方法,实现了Si纳米井阵列刻蚀技术和ZnO晶体的水热法生长技术的结合,使ZnO纳米棒在Si纳米井中生长,得到了Si纳米井/ZnO纳米棒二级结构。优点在于:可以同时保证材料的光...
张跃
李峻野
陈翔
闫小琴
冯亚瀛
冯韵迪
孙国帅
徐佳亮
方思萦
文献传递
一种制备图案化ZnO纳米棒阵列的方法
本发明一种制备图案化ZnO纳米棒阵列的方法,属于纳米材料图案化生长领域。本发明旨在促进图案化ZnO纳米棒阵列大面积均匀生长。其特征是:在三光束激光干涉模板法制备图案化ZnO纳米棒阵列的基础上,采用长程扩束、大尺寸高反镜、...
张跃
陈翔
闫小琴
李欣
冯亚瀛
申衍伟
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一种制备图案化ZnO纳米棒阵列的方法
一种制备图案化ZnO纳米棒阵列的方法,属于纳米材料图案化生长领域。本发明在三光束激光干涉模板法制备图案化ZnO纳米棒阵列的基础上,采用全光路介质全反射镜、防气流有机玻璃遮罩和低浓度多杯法显影三项技术,不仅避免了双光束激光...
张跃
陈翔
闫小琴
李欣
冯亚瀛
申衍伟
郑鑫
一种制备图案化硅纳米井阵列的方法
本发明提供一种制备图案化硅纳米井阵列的方法,该方法采用三光束激光干涉光刻技术与金属催化刻蚀技术的结合来实现。本发明可以大面积制备图案化规则排列的硅纳米井阵列,而且还能实现阵列结构周期,纳米井直径,纳米井深度的精确调节。通...
张跃
冯亚瀛
陈翔
李峻野
方思萦
徐佳亮
孙国帅
冯韵迪
闫小琴
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一种制备图案化ZnO纳米棒阵列的方法
本发明一种<B>制备图案化</B><B>ZnO</B><B>纳米棒阵列的方法</B>,属于纳米材料图案化生长领域。本发明旨在促进图案化ZnO纳米棒阵列大面积均匀生长。其特征是:在三光束激光干涉模板法制备图案化ZnO纳米棒...
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闫小琴
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申衍伟
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一种制备图案化ZnO纳米棒阵列的方法
一种制备图案化ZnO纳米棒阵列的方法,属于纳米材料图案化生长领域。本发明在三光束激光干涉模板法制备图案化ZnO纳米棒阵列的基础上,采用全光路介质全反射镜、防气流有机玻璃遮罩和低浓度多杯法显影三项技术,不仅避免了双光束激光...
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一种光刻胶模板及图案化ZnO纳米棒阵列的制备方法
本发明公开了一种三光束激光干涉制备光刻胶模板的方法以及利用此方法制备图案化ZnO纳米棒阵列的应用,借助三光束激光干涉图案化技术,单次曝光快速生成大面积六角排列圆形孔洞模板,利用该模板对ZnO纳米棒阵列进行限域水热生长,从...
张跃
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一种Si纳米井/ZnO纳米棒阵列二级结构的制备方法
一种Si纳米井/ZnO纳米棒阵列二级结构的制备方法,实现了Si纳米井阵列刻蚀技术和ZnO晶体的水热法生长技术的结合,使ZnO纳米棒在Si纳米井中生长,得到了Si纳米井/ZnO纳米棒二级结构。优点在于:可以同时保证材料的光...
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