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陈智颖

作品数:3 被引量:4H指数:1
供职机构:兰州大学物理科学与技术学院更多>>
发文基金:甘肃省自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信理学更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 3篇碳膜
  • 3篇类金刚石
  • 3篇类金刚石碳膜
  • 1篇制备及性能
  • 1篇退火
  • 1篇热退火
  • 1篇稳定性

机构

  • 3篇兰州大学

作者

  • 3篇王天民
  • 3篇王维洁
  • 3篇陈智颖

传媒

  • 2篇微细加工技术
  • 1篇兰州大学学报...

年份

  • 1篇1994
  • 1篇1993
  • 1篇1992
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
类金刚石碳膜在各种后处理条件下稳定行为的研究被引量:3
1992年
本文介绍了类金刚石碳膜的结构和性能在高能离子束辐照、真空热退火及脉冲激光辐照等后处理条件下的变化特征,并就该膜在各种处理条件下的相变机制研究现状进行了评述。
王维洁陈智颖王天民
关键词:类金刚石碳膜
类金刚石碳膜在大气热退火过程中的稳定性被引量:1
1994年
本文对双离子束溅射淀积法制备的类金刚石碳膜进行了大气中的热退火研究。退火温度300℃,时间分别为1.5h和3.Oh.对退火前后的样品分别作了红外透射谱、Raman光谱和电阻率的测量,并在退火过程中对膜层电阻率进行了即位测量,结果表明,300℃的退火并不能使膜层中的C—H键断裂,而使膜层结构趋于完整,膜层氧化变薄,其电阻率和红外透过率增高;但退火对膜的影响程度只与退火温度有关,而与退火时间无关。还观察到退火后膜层电阻性能的时效现象,并作了初步的解释。
王维洁陈智颖王天民
关键词:退火稳定性类金刚石碳膜
类金刚石碳膜的制备及性能
1993年
本文简略地回顾了用低压气相法制备类金刚石碳(DLC)膜的工艺;讨论了DLC膜的形成机制;评述了DLC膜的性能与工艺参数间的关系。
陈智颖王维洁王天民
关键词:类金刚石碳膜
共1页<1>
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