王志民
- 作品数:54 被引量:18H指数:3
- 供职机构:兰州空间技术物理研究所更多>>
- 发文基金:载人航天领域预先研究项更多>>
- 相关领域:理学一般工业技术航空宇航科学技术机械工程更多>>
- Al_2O_3薄膜的性能、制备与应用被引量:3
- 2016年
- 概述了Al_2O_3薄膜的组织结构和性能特性;系统叙述了Al_2O_3薄膜的多种制备方法,包括真空蒸发法、直流反应磁控溅射法、射频磁控溅射法、射频反应磁控溅射法、中频反应磁控溅射法、脉冲反应磁控溅射法、离子束辅助沉积法、脉冲激光沉积法、化学气相沉积法和溶胶-凝胶法,并综合比较了各种制备工艺的优缺点;最后阐述了Al_2O_3薄膜在机械涂层、光学领域、微电子领域的应用。
- 李学磊冯煜东王志民王艺赵慨王虎杨淼
- Al2O3薄膜的性能、制备与应用
- 概述了Al2O3 薄膜的组织结构和性能特性;系统叙述了Al2O3 薄膜的多种制备方法,并综合比较了各种制备工艺的优缺点;最后阐述了Al2O3 薄膜在机械涂层、光学领域、微电子领域的应用。
- 李学磊冯煜东王志民王艺王虎杨淼
- 关键词:AL2O3薄膜
- 一种CIGS太阳电池吸收层制备方法
- 本发明公开了一种CIGS太阳电池吸收层制备方法。使用本发明能够在较低温度下一步生成平整、致密、均匀、光电性能良好的CIGS太阳电池光吸收层薄膜,能显著降低CIGS太阳电池光吸收层薄膜的制备温度,简化工艺。本发明利用Se离...
- 王金晓冯煜东王艺王志民赵慨速小梅王虎杨淼
- 文献传递
- 一种组分梯度分布的防原子氧薄膜的制备方法
- 本发明提供一种组分梯度分布的防原子氧薄膜的制备方法,涉及航天器空间环境效应防护领域。该制备方法包括以下步骤:(1)通过等离子体增强化学气相沉积技术在基底上制备有机硅氧烷薄膜;(2)采用紫外光辐照所述有机硅氧烷薄膜,使得该...
- 李毅何延春王虎李中华李得天王兰喜张凯锋左华平王志民马东锋成功蒋静
- 一种高离子电导率电解质薄膜的制备方法
- 本发明涉及一种高离子电导率电解质薄膜的制备方法,属于锂离子电池技术领域。本发明采用Ⅳ族元素掺杂以及远低于室温的薄膜低温沉积方法,提高薄膜化学键和方式以及薄膜的微观结构的无序化程度,实现有效提高薄膜电解质层的离子电导率达到...
- 吴春华李林王志民王虎杨淼
- 一种高致密复合型原子氧防护薄膜
- 本发明公开了一种高致密复合型原子氧防护薄膜。首先在有机物基底表面设计一层厚度为1~100nm的致密无微观缺陷的SiO<Sub>x</Sub>薄膜,作为硅氧烷涂层生长的“种子层”;随后在SiO<Sub>x</Sub>种子层...
- 李毅李中华何延春王志民李林王虎杨淼王兰喜高恒蛟王艺赵琳赵印中成功
- 金属/氧化物界面结合特性的研究现状被引量:2
- 2015年
- 金属/氧化物薄膜材料具有优良的物理化学特性,近年来得到了人们的广泛关注和研究。但是,金属/氧化物材料的界面复杂性一直是困扰科研人员的难题。界面结构对材料性能有着重大的影响。分析了氧、缺陷、过渡金属等对金属/氧化物界面的影响,着重讨论了界面结构与特性及对附着性的影响及提升附着性的方法。结果表明,氧的含量及分布、过渡金属中间层、表面电子密度差、离子束辅助沉积、后期处理等对薄膜界面结合特性都有重要影响。
- 张朝科冯煜东王志民王艺
- 关键词:附着性
- 氧离子能量对离子束辅助沉积Al_2O_3薄膜的结构及光学性能的影响被引量:3
- 2012年
- 利用氧离子束辅助脉冲反应磁控溅射技术在聚酰亚胺基底上沉积Al2O3薄膜。这项技术在溅射高纯铝靶材的同时利用低能氧离子进行氧化来控制薄膜的化学配比。研究了薄膜沉积过程中离子束辅助的作用以及离子束放电电压对Al2O3薄膜的化学成分、结构、表面形貌、光学性能以及沉积速率的影响。结果发现,离子束放电电压对薄膜的化学成分具有显著影响,当电压增加到200 V,薄膜已基本达到完全化学计量比且薄膜为非晶结构;薄膜表面粗糙度随着离子束放电电压的增加而减小,当电压达到300V时,薄膜具有最小的表面粗糙度;通过对Al2O3薄膜透射谱的测量,分析薄膜的光学特性,获得了薄膜的光学常数随离子束放电电压的变化规律,发现氧离子束辅助沉积的薄膜具有较高的折射系数和较低的消光系数;另外,薄膜的沉积速率在电压增加到300V时达到最大值70 nm/min,是未采用离子束辅助时沉积速率的5倍。
- 王金晓王志民冯煜东王艺赵慨速小梅王虎
- 关键词:AL2O3薄膜光学特性
- 一种太阳吸收率和红外发射率可调控的热控薄膜结构及其确定方法
- 本发明涉及一种太阳吸收率和红外发射率可调控的热控薄膜结构及其确定方法,属于热控薄膜技术领域。由沉积在基底上的金属层、两层以上的Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>层和两层以上的SiO<Sub>2</Su...
- 王志民周晖王艺何延春王虎赵慨吴春华杨淼郑军
- 文献传递
- 一种模拟火星表面风沙环境对材料性能影响的试验方法
- 本发明公开了一种模拟火星表面风沙环境对材料性能影响的试验方法。可以在地面环境评价材料在火星风沙环境下性能。首先利用风沙运动模拟计算程序在地球条件下对近地表沙粒跃移进行模拟。然后利用风洞试验,同样的输入量,利用风洞输出量修...
- 杨淼何延春向艳超王艺周超王虎王洁冰李学磊王志民