林晓峰
- 作品数：13 被引量：78H指数：4
- 供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信理学金属学及工艺更多>>
- 液相型AFM的研制与金属腐蚀原位研究被引量：5
- 2006年
- 介绍了新型液相型原子力显微镜(AFM)的工作原理、系统结构和独特性能,讨论了该AFM在金属腐蚀研究中的应用。利用液相型AFM对碳钢在NaCl溶液及Pb在草酸溶液中的腐蚀过程进行了原位观察,获得了理想的扫描图像。实验结果表明,金属腐蚀最初起始于原子或纳米尺度,之后逐渐扩大到宏观尺度;金属表面的凹坑或缺陷可加速其腐蚀;而表面突起的结构则被一层层腐蚀。
- 林晓峰章海军张冬仙黄峰
- 关键词：液相金属腐蚀
- CCD摄像法在工件尺寸测量中的应用被引量：57
- 2002年
- 建立了用于工件尺寸测量的 CCD摄像测量系统。讨论了 CCD摄像测量法的基本原理 ,简要介绍其软件系统 ,给出了部分工件尺寸的测量结果。实验表明 ,测量系统可快速、精确、非接触地测量工件的边长与直径等尺寸 ,测量精度误差小于± 2 .5 %。
- 林晓峰石少莉
- 原子力显微轮廓仪系统的研究
- 2006年
- 研制了原子力显微镜(AFM)轮廓仪,介绍了AFM轮廓仪的基本原理和系统设计,并展示了多孔Al2O3薄膜、MgAl2O4薄膜和TiN薄膜的表面轮廓图。跟普通光学轮廓仪相比,该系统不需要进行复杂的光路调整,避免了光学元器件带来的误差,且工作行程不受光学孔径的制约,具有操作简单、抗干扰能力强和工作行程大的优点。实验表明,该系统具有良好的重复性、稳定性,横向分辨率为1μm,纵向分辨率为1 nm。
- 赵君臣章海军张冬仙林晓峰
- 关键词：步进电机轮廓仪纳米
- 多孔氧化铝薄膜的纳米结构和光谱特性研究被引量：2
- 2006年
- 利用阳极氧化的方法制备出几种表面结构和尺度不同的多孔氧化铝薄膜,用原子力显微镜扫描获得了这些薄膜表面的纳米结构图像,并采用光谱仪测定了它们的反射光谱。实验表明,平均孔径为26和39nm的多孔氧化铝薄膜表面具有独特的反射光谱,在500至1000nm波长范围内呈周期性地密集峰—谷分布,峰—谷的密集度或数量取决于薄膜表面纳米结构的尺度。讨论了纳米结构尺度与反射光谱之间的相互关系,并给出了适当的解释。
- 张冬仙章海军林晓峰何玉琳
- 关键词：多孔氧化铝原子力显微镜反射光谱
- PSD233型位置敏感元件的特性及其在AFM中的应用被引量：5
- 2003年
- 给出了自制的 3mm× 3mm位置敏感元件 (PSD)的光谱响应特性 ,覆盖从紫外光、可见光到红外光 (32 0～115 0nm)的广阔区域 .采用光束偏转法对其时间响应特性和位置敏感特性进行测定 .阐述了PSD在卧式原子力显微镜 (AFM)系统中的应用 ,介绍了卧式AFM的工作原理和控制系统 ,提供了部分样品的AFM扫描图像 .结果表明 ,该AFM系统具有较高的成像效率以及良好的工作稳定性、图像重复性和对比度 ,系统的最大扫描范围为 5 μm× 5 μm ,分辨率达到 1nm量级 ,表明PSD在光谱响应。
- 张冬仙章海军林晓峰
- 关键词：光谱响应原子力显微镜AFM光谱响应分辨率
- 压电陶瓷驱动的微步进机构研制被引量：7
- 2004年
- 研制了一种压电陶瓷驱动的微步进机构,介绍了步进机构的工作原理,进行了可行性实验,测试了步进机构的步长和动态响应性能,给出了运动速度的近似公式。实验表明,该步进机构能够实现高速度、小步长(纳米至微米级)、大行程的步进运动。
- 何玉琳章海军林晓峰
- 关键词：压电陶瓷步进运动
- 双成像单元原子力显微镜及其在大范围纳米计量中的应用被引量：2
- 2005年
- 为了实现大范围纳米计量,研制了双成像单元原子力显微镜,采用光栅作参考样品,同时对光栅和被测样品扫描成像,得到两幅具有相同横向尺度的图像,通过计算参考光栅的周期数,就能精确测定被测样品图像的尺寸。提出了一种实现大范围扫描和纳米计量的新方法,利用步进电机交替移动XY扫描器,扫描获得一系列的光栅样品图像和被测样品图像对,通过拼接对应的序列图像,可获得两幅大范围的光栅图像和被测样品图像,计数参考图像中光栅的周期数,即可测定被测图像的尺度,实现对被测图像的大范围纳米计量。
- 林晓峰章海军张冬仙
- 关键词：原子力显微镜序列图像
- 液相型原子力显微镜的研制与金属腐蚀原位研究
- 本文简要介绍了新型液相型原子力显微镜(AFM)的工作原理、系统结构和独特性能,讨论了该AFM在金属腐蚀研究中的应用。利用液相型AFM对碳钢在氯化钠溶液及铅在草酸溶液中的腐蚀过程进行了原位观察,获得了理想的扫描图像。实验结...
- 林晓峰章海军张冬仙黄峰
- 关键词：原子力显微镜液相金属腐蚀
- 文献传递
- 双元原子力显微镜检测头
- 本发明公开了一种双元原子力显微镜检测头。它具有激光器、位置敏感元件(PSD)、半透半反射镜、微悬臂探针和Z向压电陶瓷组成的光电检测与反馈参考单元和测量单元以及由XY压电陶瓷、样品台、参考样品和待测样品组成的扫描控制系统。...
- 章海军林晓峰张冬仙
- 文献传递
- 纳米计量的新方法研究及双成像单元原子力显微镜系统的研制
- 纳米科技是二十世纪90年代发展起来的一门新兴学科。扫描探针显微镜(SPM)，特别是原子力显微镜(AFM)，是纳米科技研究的重要工具。利用AFM既可直接观察物质表面的纳米级形貌，也能进行一定程度的纳米加工。随着纳米技术的发...
- 林晓峰
- 关键词：原子力显微镜序列图像
