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李立森
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北京工业大学
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贾冠华
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尚德广
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平行板电容驱动的MEMS弯曲扭转疲劳实验装置
本发明是一种平行板电容驱动的MEMS弯曲扭转疲劳实验装置,属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置通过两个平行板电容驱动器(3、12)分别实现对疲劳试样(5)的弯曲和扭转驱动。疲劳试样(5)一端与接地电极(4)连接,另...
尚德广
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平行板电容驱动的MEMS弯曲扭转疲劳实验装置
本实用新型是平行板电容驱动的MEMS弯曲扭转疲劳实验装置,属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置通过两个平行板电容驱动器(3、12)分别实现对疲劳试样(5)的弯曲和扭转驱动。疲劳试样5一端与接地电极(4)连接,另一端...
尚德广
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静电梳状驱动MEMS双轴拉伸疲劳特性实验装置
本实用新型公开了一种静电梳状驱动MEMS双轴拉伸疲劳特性研究装置,属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置共有两个电极(1,2),其中电极(2)接交流电,通过多晶硅结构层连接到固定梳齿(12、13)。另一个电极(1)接...
尚德广
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MEMS拉伸扭转疲劳特性实验装置
本实用新型是一种MEMS拉伸扭转疲劳特性实验装置,属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置主要组成部分有:平行板电容驱动器,平行板电容传感器,梳状电容驱动器,梳状电容传感器,接地电极,拉伸驱动电极,扭转驱动电极,拉伸检...
尚德广
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MEMS拉伸扭转疲劳特性实验装置
本发明是一种MEMS拉伸扭转疲劳特性实验装置,属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置主要组成部分有:平行板电容驱动器,平行板电容传感器,梳状电容驱动器,梳状电容传感器,接地电极,拉伸驱动电极,扭转驱动电极,拉伸检测电...
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一种十字型点焊试样多向疲劳加载夹具装置
本发明是一种十字型点焊试样多向疲劳加载夹具装置,属于机械、汽车制造技术领域。主要包括有下夹具体(9)、上夹具体(8)。在下夹具体(9)中,基座(1)的上表面设置有能够沿其滑动的梯形块(5)。在梯形块(5)的两侧设置有楔形...
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平行板电容驱动的微结构扭转疲劳实验装置
本实用新型涉及一种平行板电容驱动的微结构扭转疲劳实验装置,属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置共有三个电极,驱动电极(1)接交流电,通过该电极的底电极层与第一悬置平板(9)构成平行板电容驱动器,实现对悬置平板的垂直...
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MEMS拉伸扭转疲劳特性实验装置
本发明是一种MEMS拉伸扭转疲劳特性实验装置,属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置主要组成部分有:平行板电容驱动器,平行板电容传感器,梳状电容驱动器,梳状电容传感器,接地电极,拉伸驱动电极,扭转驱动电极,拉伸检测电...
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静电梳状驱动MEMS双轴拉伸疲劳特性实验装置
本发明公开了一种静电梳状驱动MEMS双轴拉伸疲劳特性实验装置,属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置共有两个电极(1,2),其中电极(2)接交流电,通过多晶硅结构层连接到固定梳齿(12、13)。另一个电极(1)接地,...
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静电梳状驱动MEMS双轴拉伸疲劳特性实验装置
本发明公开了一种静电梳状驱动MEMS双轴拉伸疲劳特性实验装置,属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置共有两个电极(1,2),其中电极(2)接交流电,通过多晶硅结构层连接到固定梳齿(12、13)。另一个电极(1)接地,...
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