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张海燕

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇理学

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体化学
  • 1篇质谱
  • 1篇质谱分析
  • 1篇物性
  • 1篇离子
  • 1篇氟掺杂
  • 1篇COH
  • 1篇掺杂

机构

  • 2篇苏州大学
  • 1篇上海交通大学

作者

  • 2篇张海燕
  • 1篇杜杰
  • 1篇宁兆元
  • 1篇俞笑竹
  • 1篇叶超

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2009
  • 1篇2008
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
氟掺杂SiCOH薄膜沉积的等离子体化学特性研究
为了解决超大规模集成电路的特征线宽不断减小而导致的互连阻容耦合增大、信号传输延时、功耗增大等问题,多孔超低介电常数/(超低k/)的SiCOH材料应运而生,成为人们研究的焦点,其中通过引入孔隙来降低SiCOH薄膜密度成为降...
张海燕
关键词：质谱分析
文献传递
CHx掺杂SiCOH低介电常数薄膜的物性热稳定性分析被引量：1
2009年
研究了真空热处理对掺CH4的SiCOH低介电常数薄膜的电流-电压(I-V)特性、电容-电压(C-V)特性、疏水性能以及微结构的影响.结果表明:在热处理过程中,热稳定性较差的碳氢基团发生了热解吸,使薄膜的漏电流减小、绝缘性能改善,并使薄膜的导电行为更趋于空间电荷限流过程.碳氢基团的热解吸使SiCOH/Si界面的界面态发生改变,导致SiCOH薄膜MIS结构的平带电压VFB发生漂移.封端的碳氢基团热解吸使薄膜表面的开口孔结构减少,薄膜表面变得更平整.但是碳氢基团为疏水基团,其热解吸导致薄膜的疏水性能降低.
杜杰叶超俞笑竹张海燕宁兆元
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