庞霖
- 作品数：3 被引量：6H指数：1
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 用于微光学元件制作的溶胶-凝胶复合材料
- 提出一种sol-gel光记录复合材料.利用此光记录材料,只需曝光、显影即可直接制作复合材料微结构元件.另外,由于有机无机sol-gel元件制作是利用此材料中侧链可聚合基团的光引发聚合,因此,光照过程中,光聚合的收缩作用必...
- 庞霖严瑛白伊德尔金国藩
- 关键词：微光学元件复合材料曝光量
- 制作重铬酸盐明胶微光学元件的化学裂解刻蚀方法
- 2001年
- 从生物化学和蛋白质的裂解机制出发 ,提出一种新的重铬酸盐明胶 (DCG)浮雕形成方法———化学裂解刻蚀法。由于化学裂解试剂较胰蛋白酶具有少得多的作用位点 ,化学裂解方法比明胶酶蚀方法具有更高的刻蚀分辨率。实验考察表明 ,化学裂解方法可以获得 5 0 0lines mm的刻蚀分辨率。应用化学裂解方法 ,利用投影曝光系统和灰度掩摸 ,制作了单元线宽为 30 μm ,深度为 0 8μm的连续浮雕明胶微棱镜列阵。
- 庞霖严瑛白金国藩邬敏贤郭履容陈波
- 关键词：微光学元件重铬酸盐明胶
- 基于微结构制作的溶胶凝胶浸渍成膜特性被引量：6
- 2001年
- 针对制作溶胶 凝胶 (sol gel)微光学元件的需要 ,对溶胶 凝胶浸渍提拉成膜过程中膜厚、均匀性等成膜特性进行了仔细考察。对于室温干燥情况 ,提拉成膜厚度与提拉速度的经验关系为 :低速时膜厚与提拉速度呈 1 2次幂关系 ;高速时则偏离以上关系 ,且随速度的增大 ,膜厚增加缓慢。对成膜过程的分析表明 ,挥发过程对溶胶
- 庞霖严瑛白金国藩韦辉郭履容
- 关键词：微光学元件溶胶-凝胶微结构
