庄成乾
- 作品数：5 被引量：3H指数：1
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：航空宇航科学技术自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 柔性微纳结构制造技术及其应用
- 姜澄宇苑伟政邓进军马炳和马志波何洋叶芳朱鹏飞王云龙郝日鹏庄成乾肖同新侯辉王文庆高洁
- “柔性微纳结构制造技术及其应用”是在国家自然科学基金、863课题等项目支持下的微机电系统(MEMS)器件加工技术的最新研究成果，属于先进制造技术领域。半导体制造技术是微纳结构的主要加工手段之一。特别是MEMS器件，继承了...
- 关键词：
- 关键词：半导体制造技术集成电路制造工艺
- 面向壁面剪应力测量的底层隔板微敏感结构设计与制造被引量：2
- 2013年
- 采用MEMS技术加工的底层隔板能够为壁面剪应力的测量提供新的手段。利用有限元法(FEM)建模仿真、正交实验设计以及各因素的极差分析,考查了微敏感结构宽度、厚度和凸出壁面高度对底层隔板固有频率和压阻灵敏度的影响规律,完成了底层隔板的结构优化设计。仿真结果显示:微敏感结构厚度对隔板固有频率和灵敏度影响最大,提升敏感结构高度能够有效提高压阻灵敏度,固有频率和压阻灵敏度受微敏感结构宽度变化影响很小。基于绝缘体上硅技术,利用电感耦合等离子体刻蚀工艺形成底层隔板结构,反应离子刻蚀工艺完成对敏感结构的释放,所加工底层隔板的整体尺寸为5.9mm×10.1mm×0.39mm。底层隔板的动态特性测试表明样件固有频率为1 453.1Hz,与有限元仿真结果的最大偏差为4.4%。
- 马骋宇马炳和孙海浪庄成乾
- 关键词：MEMS绝缘体上硅正交实验设计
- 一种新型MEMS仿生声矢量传感器及其加工方法
- 本发明公开了一种新型MEMS仿生声矢量传感器结构，属于声学领域。该结构的左侧振动膜片1和右侧振动膜片2上均有可动梳齿6，并与连在锚点区域9的固定梳齿7形成梳齿对。梳齿对结构弥补了以往结构由于存在加强肋无法进行电容检测的缺...
- 苑伟政刘振亚任森邓进军庄成乾
- 文献传递
- 一种微型侧喷式压电合成射流器的设计被引量：1
- 2012年
- 设计了一种侧喷型合成射流器,考察了射流器喷口结构尺寸对射流速度的影响,计算了不同喷口宽度下的动量系数,确定了喷口的最优尺寸,并在攻角为23°的NACA0015翼型进行了数值仿真模拟。结果表明,合成射流器可以有效的抑制边界层流动分离。同时设计了器件的加工工艺流程并完成了器件的加工。
- 侯辉马炳和邓进军王树山庄成乾
- 一种基于电磁驱动的合成射流器
- 本发明公开了一种基于电磁驱动式合成射流器，其结构主要包括电磁铁（1）、装配壳体（2）和合成射流装置（3）；电磁铁（1）通过螺纹调节控制电磁铁（1）与弹性振膜（3-2）之间的距离；电磁铁（1）通入正弦变化的电流，产生交变的...
- 邓进军王文庆庄成乾马炳和苑伟政姜澄宇
- 文献传递
