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孙征宇

作品数：13 被引量：8H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：上海市自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信环境科学与工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 12篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信
  • 1篇环境科学与工...

主题

  • 4篇气溶胶
  • 2篇大行程
  • 2篇刀片
  • 2篇调整板
  • 2篇对接
  • 2篇信号
  • 2篇信号处理
  • 2篇信号处理模块
  • 2篇循环检测
  • 2篇运动控制
  • 2篇生物气溶胶
  • 2篇竖直
  • 2篇双通道
  • 2篇气动
  • 2篇气动力
  • 2篇气溶胶监测
  • 2篇组件
  • 2篇微机控制
  • 2篇微机控制系统
  • 2篇狭缝

机构

  • 13篇中国科学院上...
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 13篇黄惠杰
  • 13篇孙征宇
  • 7篇程伟林
  • 6篇任冰强
  • 6篇张友宝
  • 6篇钱珍梅
  • 5篇赵永凯
  • 4篇林栋梁
  • 4篇杨增辉
  • 4篇王振
  • 3篇张佩
  • 3篇谢承科
  • 2篇薛佩佩
  • 2篇马兴华
  • 2篇胡小邦
  • 2篇廖小情
  • 2篇李璟
  • 2篇屈建峰
  • 2篇杨宝喜
  • 2篇黄立华

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 3篇2015
  • 2篇2014
  • 3篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2010
共 13 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
多自由度调整机构
一种多自由度调整机构，自下而上包括固定基座组件、X方向调整组件、Y方向调整组件、连接板和三个调整螺钉组件，在连接板上三个调整螺钉组件呈三角形分布。本发明可实现多个自由度的定位调整，定位精度高，并且操作方便，调整范围大；结...
钱珍梅杨增辉任冰强程伟林薛佩佩王振林栋梁孙征宇黄惠杰
文献传递
多个可动镜片共用光栅尺的回零装置及控制方法
一种用于光刻设备中的多个可动镜片共用光栅尺的回零装置及控制方法，该装置包括：底座、N个可动镜片、运动控制主控模块、信号处理模块、驱动模块、光栅尺反馈模块、N个限位感应块及N个电机，其中N为3以上是正整数。本发明能实现多个...
胡小邦张友宝孙征宇杨宝喜李璟黄惠杰
用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置
一种用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置，由四个相同的刀片组件通过四个限位连接件连接而成，四个限位连接件将相邻刀片组件两两进行紧连，四个刀片组件按旋转对称方式集成到两个正交方向上，相邻刀片组件的刀口相互垂直，四个刀口共面且与...
林栋梁马兴华任冰强程伟林张友宝钱珍梅屈建峰孙征宇黄惠杰
文献传递
六自由度调整安装机构
一种六自由度调整安装机构，包括一安装座板、一调整板、三个竖直调整子单元和三个水平调整子单元，在所述的安装座板与所述调整板之间设置所述的三个竖直调整子单元和三个水平调整子单元：两个水平调整子单元分布在安装座板长边同一侧面的...
杨增辉钱珍梅任冰强王振程伟林孙征宇黄惠杰
文献传递
双通道实时生物气溶胶监测方法与装置
一种双通道实时生物气溶胶监测方法与装置，其特点在于该方法包括下列步骤：①大气气溶胶粒子富集；②双通道紫外光诱导荧光检测；③数据处理；④对粒子富集板进行表面清洁与再生；⑤重复进行新一轮循环检测。装置包括气溶胶粒子富集单元、...
黄惠杰周光超赵永凯冯春霞韩杰黄立华谢承科孙征宇张友宝
单气溶胶粒子形状实时检测装置
本发明公开一种单气溶胶粒子形状实时检测装置，包括单粒子聚焦气路、散射腔体、电源供电系统、两个定位触发单元、散射图样检测单元和微机控制处理单元。本发明基于粒子的前向与侧向散射光场特性，结合粒径测量相关信息，判别粒子形状，可...
赵永凯卜一川廖小情张佩孙征宇陈正岩黄惠杰
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单气溶胶粒子形状实时检测装置
本发明公开一种单气溶胶粒子形状实时检测装置，包括单粒子聚焦气路、散射腔体、电源供电系统、两个定位触发单元、散射图样检测单元和微机控制处理单元。本发明基于粒子的前向与侧向散射光场特性，结合粒径测量相关信息，判别粒子形状，可...
赵永凯卜一川廖小情张佩孙征宇陈正岩黄惠杰
双通道实时生物气溶胶监测方法与装置
一种双通道实时生物气溶胶监测方法与装置，其特点在于该方法包括下列步骤：①大气气溶胶粒子富集；②双通道紫外光诱导荧光检测；③数据处理；④对粒子富集板进行表面清洁与再生；⑤重复进行新一轮循环检测。装置包括气溶胶粒子富集单元、...
黄惠杰周光超赵永凯冯春霞韩杰黄立华谢承科孙征宇张友宝
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多自由度调整机构
一种多自由度调整机构，自下而上包括固定基座组件、X方向调整组件、Y方向调整组件、连接板和3个调整螺钉组件，在连接板上3个调整螺钉组件呈三角形分布。本发明可实现多个自由度的定位调整，定位精度高，并且操作方便，调整范围大；结...
钱珍梅杨增辉任冰强程伟林薛佩佩王振林栋梁孙征宇黄惠杰
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多个可动镜片共用光栅尺的回零装置及控制方法
一种用于光刻设备中的多个可动镜片共用光栅尺的回零装置及控制方法，该装置包括：底座、N个可动镜片、运动控制主控模块、信号处理模块、驱动模块、光栅尺反馈模块、N个限位感应块及N个电机，其中N为3以上是正整数。本发明能实现多个...
胡小邦张友宝孙征宇杨宝喜李璟黄惠杰
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