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刘金泉

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：北京交通大学更多>>
相关领域：机械工程金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇润滑
  • 1篇润滑机理
  • 1篇润滑液
  • 1篇数值模拟
  • 1篇抛光
  • 1篇抛光液
  • 1篇网格
  • 1篇网格算法
  • 1篇温度场
  • 1篇流体流
  • 1篇流体流动
  • 1篇化学机械抛光
  • 1篇机械工程
  • 1篇机械抛光
  • 1篇超精
  • 1篇值模拟

机构

  • 2篇北京交通大学

作者

  • 2篇刘金泉
  • 1篇刘俊铭
  • 1篇刘思思
  • 1篇孙跃涛
  • 1篇杜永平
  • 1篇叶巍
  • 1篇张寒冰
  • 1篇张朝辉
  • 1篇耿明
  • 1篇章建群

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2007
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
微间隙超精界面间流体流动与润滑机理研究
张朝辉杜永平刘思思章建群叶巍刘俊铭孙跃涛耿明刘金泉张寒冰
该项目属于先进制造与工业技术领域超精界面间流体的运动对现代机械的精度、寿命、可靠性等具有决定性作用，水基润滑液的纳米级流动规律和润滑机理则为研究的空白。项目的主要创新性工作在于：1)针对纳米级有序润滑膜的智能润滑机理，建...
关键词：
关键词：润滑机理润滑液机械工程
化学机械抛光中温度场的计算
化学机械抛光(Chemical mechanical polishing，CMP)是对传统表面加工工艺的革命。当今微电子产业与计算机技术发展迅速，从而对很多部件表面提出更高的要求，例如在直径为300mm的硅片上要求其表面...
刘金泉
关键词：化学机械抛光抛光液温度场数值模拟网格算法
文献传递
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