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刘昊
作品数:
1
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供职机构:
中国科学技术大学
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
理学
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合作作者
万树德
中国科学技术大学
汪海
中国科学技术大学
胡明
中国科学技术大学
钟雷
中国科学技术大学
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刘昊
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磁控直流辉光等离子体放电特性
2012年
本文利用单探针诊断等离子体参数来研究自行设计的磁控直流辉光等离子体实验装置的放电特性,从而得出电子密度与气体压强、电子密度分布与磁场位型以及磁场强度等的关系.另外,用有限元的方法对线圈通电产生的磁场进行数值计算,模拟出不同接线方式的两种磁场位型分布.通过实验得出这两种不同的位型的磁场均对等离子体的状态有一定的"控制"作用,而且这种"控制"作用与现有理论相符合.
胡明
万树德
钟雷
刘昊
汪海
关键词:
直流辉光
等离子体特性
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