刘惠兰
- 作品数：97 被引量：123H指数：7
- 供职机构：北京航空航天大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金武器装备预研基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程文化科学航空宇航科学技术更多>>
- MOEMS陀螺谐振腔的闭环调整方案研究
- 2010年
- 谐振腔是MOEMS陀螺的关键器件,由于谐振腔具有相对失调特性,所以传统的调腔是以人工方式进行的。研究并提出了一种新型的可应用于微光机电(MOEMS)陀螺谐振腔的闭环调整方案,完成了基于机器视觉和PZT控制的闭环调整系统及调腔实验,得到了预期的效果,并进行了相关的分析。
- 刘惠兰潘在友刘欢王勇
- 关键词：谐振腔陀螺微光机电系统
- 一种测试波导耦合器分光比的方法
- 本发明提供了一种测试波导耦合器分光比的方法，将待测M×N型波导耦合器置于调整架上，并调节调整架，使得波导耦合器的输入端和单模光纤对准，输出端位于光斑测试仪接收面的中心；为波导耦合器通光，光斑测试仪扫描波导耦合器的输出端面...
- 刘惠兰冯丽爽王维王俊杰李儒雅
- 文献传递
- 一种适用于典型偏振多谱段探测系统的信噪比估算方法
- 本发明提出一种适用于典型偏振多谱段探测系统的信噪比估算方法。包括以下步骤：在大气矢量辐射传输模拟软件6SV中输入天气条件、探测几何条件等，建立相应的大气矢量辐射传输模型；将入射光偏振辐射信息作为入射能量，推导出与检偏器检...
- 张颖王昊凌子盟刘惠兰张晞
- 仿真分析在“物理光学”课程实验教学指导中的应用被引量：3
- 2019年
- 在物理光学的实验教学中,验证马吕斯定律和λ/4波片光学特性实验是光的偏振特性实验的重要内容。在实验教学中,从遇到的问题出发,将仿真分析工具用于解释实验现象,能够帮助学生更好地理解知识内容,激发学习兴趣,培养分析问题、解决问题的能力,大大提升了实验教学的教学效果。
- 刘惠兰王聪昊丁正
- 关键词：实验教学马吕斯定律
- 一种新型光栅加速度计
- 本发明实施例提供了一种新型光栅加速度计，具体包括：通过在所述敏感质量块底部设置有反射镜，且在所述光栅底部也设置有反射镜，就可以在所述光栅间隙和两层反射镜之间形成多光束干涉。这样通过改进加速度计的光学结构，提高了光学灵敏度...
- 冯丽爽张群雁周震姚保寅刘惠兰
- ICP刻蚀硅形貌控制研究被引量：11
- 2011年
- 硅的刻蚀形貌控制是MEMS器件加工中的关键技术之一,形貌控制是硅表面刻蚀和钝化反应取得平衡的结果,任何影响刻蚀和钝化反应的因素都会影响到刻蚀形貌。采用中科院微电子研发中心研制的基于化学平衡原理的ICP-98A等离子刻蚀机,对ICP刻蚀当中影响形貌的关键工艺参数进行了研究和分析,研究了源功率RF1、射频功率RF2及气体(SF6和C4F8)比例对刻蚀形貌的影响,分析了bow ing现象产生机制,并给出了降低这种现象的工艺方法。该研究对提高硅的ICP刻蚀形貌控制具有重要的指导意义。
- 刘欢周震刘惠兰冯丽爽王坤博
- 关键词：ICP刻蚀硅形貌控制工艺参数
- 一种谐振式光学陀螺标度因数测试装置及方法
- 本发明公开了一种谐振式光学陀螺标度因数测试装置及方法，装置包括组合信号源模块、光电混合模块和数字信号处理模块，本发明不需要转台即可实现对谐振式光学陀螺标度因数的测试，摆脱了谐振式光学陀螺标度因数测试时对转台的依赖，避免了...
- 冯丽爽郅银周雷明刘惠兰王俊杰
- 文献传递
- 谐振式微光学陀螺调制解调方法及装置
- 本发明公开了一种谐振式微光学陀螺调制解调方法及装置。所述方法采用方波电流调制和恒温控制方案，在信号解调方面，首先采集谐振式微光学陀螺中的顺时针光路(CW)探测器和逆时针光路(CCW)探测器输出的模拟电压信号；再通过数字信...
- 马迎建冯丽爽雷明唐瑶刘惠兰洪灵菲粟妮
- 文献传递
- 谐振式硅基集成光学陀螺的偏振噪声建模与分析被引量：7
- 2012年
- 偏振噪声是谐振式集成光学陀螺的主要光学噪声源,其存在大大降低了系统的精度,为了定量化研究谐振式集成光学陀螺偏振噪声的产生机理,利用琼斯矩阵和光束传播法建立了谐振式硅基集成光学陀螺偏振噪声模型,该模型综合考虑了波导传输介质中的光偏振态交叉耦合、应力双折射等的影响,有效地逼近了实际的物理系统。基于上述模型得出了谐振腔内二氧化硅波导本征偏振态交扰与陀螺极限输出之间的表达式。对波导谐振腔内与偏振相关的3个因素:输入光偏振态、温度波动和波导保偏性能进行了仿真分析。并通过在输入端插入高偏振度起偏器的实验装置,有效验证了所建偏振理论模型受输入光偏振态波动影响的正确性。
- 于怀勇张春熹冯丽爽刘惠兰焦志超王俊杰
- 关键词：双折射
- 《工程光学（下）》仿真作业内容及考核方式探索
- 2019年
- 《工程光学(下)》是一门理论性很强的课程,目前的课堂讲授方式很难使学生对课程有很深的印象。为了充分调动学生学习的积极性,文章设计了小知识点仿真和综合大作业仿真结合的学生仿真作业,小知识点仿真包括课本知识点、课后作业和课程实验三部分内容,每个同学单独选做5-8个题目;综合大作业仿真题目源于课本知识点,又适当拓展知识点外延,3个同学组成一组,选做1-2个题目,这部分以同学展示的方式进行考核,主要考核仿真内容的正确性、全面性和完善性等。
- 屈玉福江洁刘惠兰
- 关键词：工程光学仿真
