于尚民
- 作品数：5 被引量：3H指数：1
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- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 状态反馈法改善MEMS静电驱动结构瞬时特性的研究
- MEMS静电驱动结构的瞬时特性受其结构本身机械动态特性的影响,自然阻尼过高或者过低都可能会让系统发生操作偏差.本文利用状态空间分析法分析了MEMS静电驱动结构的工作机理.基于状态反馈原则设计了一种输入量控制方法,即根据系...
- 冯仁剑于尚民万江文吴银锋
- 关键词：瞬时特性状态反馈
- 文献传递
- 基于状态空间法的MEMS静电驱动控制方案
- 采用状态空间分析法,研究 MEMS 静电驱动平行板结构的运动特性,实现了平行板机械子系统和静电子系统状态空间矩阵参数分离,制定了状态反馈控制方案以改善平行板系统的运动特性,在 Simulink 仿真平台上完成了控制方案的...
- 于尚民冯仁剑万江文
- 关键词：平行板运动特性状态反馈
- 文献传递
- 状态反馈法改善MEMS静电驱动结构瞬时特性的研究被引量：1
- 2006年
- MEMS静电驱动结构的瞬时特性受其结构本身机械动态特性的影响,自然阻尼过高或者过低都可能会让系统发生操作偏差.利用状态空间分析法分析了MEMS静电驱动结构的工作机理.基于状态反馈原则设计了一种输入量控制方法,即根据系统要求指标来配置极点,实现最优控制.仿真实验结果证明,该方法能提高系统的瞬时特性.
- 冯仁剑于尚民万江文吴银锋
- 关键词：瞬时特性状态反馈
- MEMS静电驱动结构运动特性控制方法
- MEMS静电驱动结构的器件性能一直备受关注。MEMS静电驱动的运动特性对提高MEMS器件的使用寿命、操作精度、工作效率有着十分重要的意义。
在分析静电驱动器的基础上，基于其基本单元平行板结构，研究了电压...
- 于尚民
- 关键词：二阶系统状态反馈
- 文献传递
- 基于状态空间法的MEMS静电驱动控制方案被引量：1
- 2007年
- 采用状态空间分析法,研究MEMS静电驱动平行板结构的运动特性,实现了平行板机械子系统和静电子系统状态空间矩阵参数分离,制定了状态反馈控制方案以改善平行板系统的运动特性,在Simulink仿真平台上完成了控制方案的计算机仿真实验。结果表明,状态反馈控制方案能较好地提高系统的操作精度并改善瞬时特性。
- 于尚民冯仁剑万江文
- 关键词：平行板运动特性状态反馈
