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马潇均
作品数:
2
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国科学院深圳先进技术研究院
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相关领域:
一般工业技术
动力工程及工程热物理
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合作作者
杜如虚
中国科学院深圳先进技术研究院
钟占荣
中国科学院深圳先进技术研究院
曹勇
哈尔滨工业大学深圳研究生院
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2010
1篇
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纳米薄膜界面滑移现象的分子动力学模拟进展
被引量:4
2010年
随着先进制造技术的发展,许多精密系统中的薄膜厚度已经接近纳米量级。由于纳米尺度的特殊性,宏观尺度下的界面性质将不再适用,因此探索纳米尺度下的界面性质对于微机电系统(MEMS)甚至纳机电系统(NEMS)中涉及到的润滑薄膜研究具有非常重要的价值。Couette流动作为剪切驱动流动的原形,在研究薄膜界面滑移现象上具有较高的代表性。在总结国内外该方向研究成果的基础上,详细介绍和讨论了纳米尺度薄膜Couette流动的分子动力学方法,总结了现有的滑移现象和规律,并对今后的发展进行了展望。
马潇均
钟占荣
曹勇
杜如虚
关键词:
分子动力学
纳米通道内液氩剪切流动的分子动力学研究
得益于纳米技术的促进作用,微机电系统(Micro Electro-Mechanic System, MEMS)和纳机电系统(Nano Electro-Mechanic System, NEMS)正在经历一个高速的发展时期...
马潇均
关键词:
液氩
分子动力学
数值模拟
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