陈龙龙
- 作品数：8 被引量：10H指数：2
- 供职机构：东南大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 多晶硅薄膜离面疲劳特性研究被引量：2
- 2010年
- 多晶硅薄膜材料为微电子机械系统（MEMS）器件最重要的材料之一，对其疲劳特性的研究是现阶段失效分析研究的热点和重点。利用表面加工的多晶硅矩形微悬臂梁结构对该问题展开实验研究。通过干法刻蚀在微悬臂梁根部制作纵向应力集中区，利用静电激励激励微悬臂梁进行离面振动，谐振频率检振方法跟踪微悬臂梁机械性能的变化。结果证明在10^10-10^11次循环振动载荷作用后，微悬臂梁结构刚度下降，谐振频率减小，频率最大绝对偏移量达到1．544kHz，相对偏移量达到结构本征频率的1．3％。这些结果首次验证了MEMS结构在离面振动方向上也存在显著疲劳现象。和已有文献相比，实验中结构所受应力幅度较其小2个数量级（约1～10MPa量级），而频率偏移量却高于其数十倍。这很可能是因为纵向干法刻蚀引入了较大的粗糙度，显著加速了多晶硅结构的晶界分离速度，因而也加速了疲劳。
- 陈龙龙宋竞唐洁影
- 关键词：微电子机械系统微悬臂梁
- 印制电子喷印机工作台结构及控制参数的优化设计
- 印制电子喷印技术具有高效、低耗、环保等优点，被广泛应用于印制电路板（Printed Circuit Board，PCB）的生产。工作台是印制电子喷印机的核心部件，其运动稳定性和定位精度是影响PCB生产质量的主要因素。目前...
- 陈龙龙
- 关键词：印制电路板工作台结构优化模糊PID
- 文献传递
- 多晶硅梁疲劳失效的研究与分析
- MEMS器件在受到循环载荷的作用之后发生失效，这种失效方式即为疲劳失效。例如RF开关等面外运动器件，在循环的振动载荷作用后，器件可能会发生断裂、软化等疲劳失效现象。为了避免MEMS器件在规定的工作时间内发生失效而造成一些...
- 陈龙龙
- 关键词：MEMS器件振动载荷可靠性分析
- 文献传递
- 微机电系统梁振动疲劳可靠性在线自动测试方法及系统
- 本发明公开一种在线式微机电系统梁振动疲劳特性自动测试系统，由电压产生模块、放大器、梁、定时器、电压检测模块、保护电路和数据输出模块组成。本发明采用以下技术方案，首先用交流电压在微机电系统梁上加载振动疲劳载荷使其振动特定次...
- 唐洁影陈龙龙尚金堂
- 文献传递
- 多晶硅双端固支梁高周循环下疲劳特性的分析被引量：4
- 2009年
- 多晶硅固支梁是MEMS器件中较常见的可动部件,通过静电激励的方式对其进行疲劳振动加载;所用结构为面外运动结构,为了测试样品的加速疲劳特性,通过在固支梁面内引入缺陷的方式来增大应力水平值;器件在经历了1.72×1011次循环之后,微梁的谐振频率、振动幅度发生了较大偏移,其谐振频率的偏移量达到14.531kHz,器件性能发生了严重的退化。研究结果表明,利用谐振频率的改变来表征材料性能的退化是一种准确、可行的方法,同时本文进一步分析指出,器件上引入凹槽缺陷的方法确实可起到加速疲劳的作用;可利用此方法制作不同应力水平幅度的结构进行振动载荷疲劳加载实验,从而得到固支梁结构疲劳加速因子。
- 陈龙龙唐洁影宋竞
- 关键词：MEMS谐振频率
- 微机电系统梁振动疲劳可靠性在线自动测试方法及系统
- 本发明公开一种在线式微机电系统梁振动疲劳特性自动测试系统，由电压产生模块、放大器、梁、定时器、电压检测模块、保护电路和数据输出模块组成。本发明采用以下技术方案，首先用交流电压在微机电系统梁上加载振动疲劳载荷使其振动特定次...
- 唐洁影陈龙龙尚金堂
- 文献传递
- 多晶硅梁的加速疲劳实验被引量：1
- 2011年
- MEMS器件在循环振动载荷作用下,器件可能会发生断裂、软化等疲劳失效现象.本文中选取了以表面工艺加工的多晶硅结构—固支梁与悬臂梁作为实验研究对象,并在微结构梁上利用光刻的方法对两个被测结构分别引入了凹槽和切口两种缺陷形式,并在其上加载循环静电载荷,进行加速疲劳实验.实验利用激光多普勒测振仪测量谐振频率的变化,来表征微梁结构等效弹性模量的改变.实验结果表明,无论固支梁或者悬臂梁,其谐振频率都发生了明显的偏移:固支梁结构初始频率为170.749 kHz,实验后谐振频率增大,偏移量达到15.618 kHz,其相对变化量为9.15%,而悬臂梁结构初始频率为112.357 kHz,实验后谐振频率变小,减小量达到1.342 kHz,相对偏移为1.34%,器件性能发生明显退化.
- 韩磊居易陈龙龙唐洁影
- 关键词：MEMS悬臂梁谐振频率
- 振动作用对MEMS微结构湿汽吸附的影响(英文)被引量：3
- 2009年
- 为了提高检测微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)结构谐振频率的准确性,笔者针对湿汽对MEMS微结构影响的问题,进行了实验设计,并分析了MEMS微结构在振动载荷下谐振频率的变化特性.结果表明,振动初期谐振频率的变化是由于MEMS微结构吸附及解吸附湿汽的作用造成的,而并非是由结构刚度的变化引起的.因此,利用谐振频率检测结构参数变化的实验中,考虑环境湿度的影响十分必要.
- 唐洁影陈龙龙宋竞
- 关键词：微机电系统谐振频率振动
