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陈星婷
作品数:
3
被引量:5
H指数:1
供职机构:
华南理工大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
一般工业技术
理学
化学工程
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合作作者
刘仲武
华南理工大学材料科学与工程学院
邱万奇
华南理工大学材料科学与工程学院
曾德长
华南理工大学材料科学与工程学院
余红雅
华南理工大学材料科学与工程学院
钟喜春
华南理工大学材料科学与工程学院
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陈星婷
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年份
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2014
1篇
2013
1篇
2011
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铜基镶嵌金刚石膜的初期生长过程和界面结合性能的研究
散热是制约现代微电子设备小型化发展的关键因素,而热沉是有效的散热方式。铜基体上沉积金刚石膜能同时满足热沉的高热导率和低热膨胀系数的使用性能要求,是实现热沉的最佳组合。但铜与金刚石润湿性差,热膨胀系数相差很大,无法在铜基体...
陈星婷
关键词:
金刚石
合金镀
文献传递
镶嵌结构界面金刚石涂层研究进展
被引量:5
2011年
对平面结构和镶嵌结构界面金刚石涂层的界面结构特点、受弯曲应力应变时的失效方式进行了分析,指出镶嵌结构界面金刚石涂层是提高膜/基体结合力的有效方法;综述了镶嵌结构界面金刚石涂层的国内外研究现状,并指出了今后镶嵌结构界面金刚石涂层的发展方向。
邱万奇
陈星婷
刘仲武
钟喜春
余红雅
曾德长
关键词:
金刚石
化学气相沉积
结合力
镶嵌结构界面金刚石成膜机制的研究
2014年
在铜基体复合电沉积金刚石-铜过渡层,用热丝CVD法对铜基镶嵌结构界面金刚石膜的初期生长过程进行了研究。结果表明:不规则的露头金刚石在CVD生长初期逐渐转化为规则的刻面金刚石,长大速率呈现先增加后降低的趋势,伴随着刻面的形成,在露头金刚石与电镀铜二面角处开始二次形核,二次晶粒与电镀铜形成新的二面角并促进二次形核,如此繁衍长大的结果是二次晶粒填充在露头金刚石颗粒沟槽之间,形成连续的金刚石膜。
陈星婷
邱万奇
刘仲武
匡同春
曾德长
周克崧
关键词:
金刚石膜
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