肖素艳
- 作品数：14 被引量：36H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 一种柔性温度传感器的制作方法
- 本发明公开了一种柔性温度传感器的制作方法。其特征在于首先在载体硅片上涂覆一层聚二甲基硅氧烷(PDMS)中间夹层，在室温固化后，用氧等离子体活化其表面；紧接着在上面重叠涂覆高粘度聚酰亚胺(PI)预聚体并用阶梯式工艺进行预固...
- 车录锋肖素艳李昕欣王跃林
- 文献传递
- 一种柔性电容式触觉传感器的制作方法
- 本发明涉及一种柔性电容式触觉传感器的制作方法，其特征在于所述柔性电容式触觉传感器的制作包括PDMS的中间层准备，柔性PI衬底的制备，金属敏感电极及其电连接的图形化，第一高弹性介电层PDMS和第二柔性介电层PI的形成，金属...
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- 一种柔性温度传感器的制作方法
- 本发明公开了一种柔性温度传感器的制作方法。其特征在于首先在载体硅片上涂覆一层聚二甲基硅氧烷(PDMS)中间夹层，在室温固化后，用氧等离子体活化其表面；紧接着在上面重叠涂覆高粘度聚酰亚胺(PI)预聚体并用阶梯式工艺进行预固...
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- 一种柔性电容式触觉传感器的制作方法
- 本发明涉及一种柔性电容式触觉传感器的制作方法，其特征在于所述柔性电容式触觉传感器的制作包括PDMS的中间层准备，柔性PI衬底的制备，金属敏感电极及其电连接的图形化，第一高弹性介电层PDMS和第二柔性介电层PI的形成，金属...
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- 基于PI衬底的柔性MEMS电容式触觉力传感器设计与制作被引量：5
- 2008年
- 论述了一种可应用于机器人或医学修补技术的触觉传感器及其在旋涂的柔性聚酰亚胺衬底的新制作方法。该传感器是由多层无机和有机薄膜组成的柔性薄膜结构。结合传感器结构特点及各结构层材料的加工性能,进行工艺优化整合。尤其首次在载体硅片与PI衬底之间引进PDMS分离层,使得柔性器件的分离工艺大大简化。最后得到一种简单、低廉且与常规MEMS技术兼容的工艺。所制的传感器结构轻薄,可挠性好,且能贴附在任意形状的物体表面同时实现法向力和切向力的测量。
- 肖素艳车录锋李昕欣王跃林
- 关键词：触觉传感器
- 基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究
- 基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器。该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控。采用了两种方法制作柔性器件:第一种方法是将液态聚酰亚胺旋涂在有氧化物牺牲层的载体...
- 肖素艳车录锋李昕欣王跃林
- 关键词：MEMS技术聚酰亚胺铂薄膜电阻温度传感器
- 文献传递
- 硅基光波导压力传感器被引量：1
- 2002年
- 硅基光波导压力传感器由于具有灵敏度高、耐高温、抗电磁场干扰能力强、微型等优点 ,特别适合于在特殊环境中的应用。简要介绍了全反射光波导和抗共振反射光波导压力传感器的结构特点、工作原理及其研究现状。
- 肖素艳王东红高明刘晓为
- 关键词：压力传感器硅全反射
- M-Z型硅基ARROW压力传感器设计被引量：4
- 2003年
- 分析了M Z型硅基ARROW压力传感器的结构设计参数 ,并用计算机软件ANSYS对如下参数进行有限元方法 (FEM )研究 ,模拟了硅弹性膜片应力分布 ,确定了弹性膜边缘是传感臂具有高灵敏度的理想位置 。
- 肖素艳王东红刘晓为秦建勇
- 关键词：M-Z型压力传感器有限元方法
- M-Z型硅基ARROW压力传感器设计
- 分析了M-Z型硅基ARROW压力传感器的结构设计参数, 并用计算机软件ANSYS对参数进行有限元方法(FEM) 研究,模拟了硅弹性膜片应力分布,确定了弹性膜边缘是传感臂具有高灵敏度的理想位置,并据此计算出由光弹性效应引起...
- 肖素艳王东红刘晓为秦建勇
- 关键词：压力传感器有限元方法
- 文献传递
- 基于聚酰亚胺衬底的柔性MEMS技术及在传感器中的应用研究
- 传统的MEMS器件大多制作在硅、玻璃等刚性衬底上，然而在实际应用中，对可挠性好、能贴附在任意曲面或不规则物体表面的类皮肤型器件的需求日益增多。因此，研究人员提出将MEMS器件制作在柔性衬底上以实现各种非平面物体表面物理量...
- 肖素艳
- 文献传递
