瞿全炎
- 作品数：8 被引量：74H指数：4
- 供职机构：华南理工大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：广州市科技计划项目广东省科技计划工业攻关项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学电子电信金属学及工艺更多>>
- 热爆反应原位生成TiC的热力学和动力学探讨被引量：12
- 1999年
- 利用Al-Ti-C系热爆反应过程中有关反应的自由能变化和DTA曲线,探讨了TiC的形成机理.研究结果表明,TiC、Al4C3和TiAl3都有可能存在于反应过程中;合成Al4C3和TiAl3的副反应所放出的热量引发了Ti和C的合成反应;
- 李元元项品峰龙雁瞿全炎
- 关键词：热力学碳化钛热爆反应金属基复合材料
- 用弯曲磁过滤提高弧离子镀TiN薄膜质量被引量：6
- 2008年
- 采用弯曲磁过滤真空阴极放电弧离子镀法制备高质量TiN薄膜。用场致发射电子扫描显微镜观察薄膜表面与截面形貌。分析弯曲磁过滤对膜表面质量与晶粒尺寸、膜基结合形态的影响。磁过滤能有效减少大颗粒数量,减小大颗粒尺寸,形成光滑的TiN薄膜表面,细化TiN晶粒,形成结合紧密的膜基结构。
- 瞿全炎曾德长史新伟刘正义
- 关键词：TIN薄膜
- 弯曲磁过滤电流对TiN膜质量的影响被引量：4
- 2010年
- 为研究弯曲磁过滤弧离子镀工艺的磁过滤电流变化对薄膜质量的影响,用弯曲磁过滤弧离子镀工艺在3.0～4.5A内变化磁过滤电流制备了TiN薄膜样品,用扫描电子显微镜观察了薄膜表面与截面形貌,用X射线衍射研究了薄膜的组织结构,从等离子体角度分析了磁过滤电流对薄膜表面质量、结晶质量等薄膜质量及生长速率的影响.结果表明,引入磁过滤后,因去除大颗粒的结果使薄膜表面均很光滑,且表面大颗粒的尺寸与磁过滤电流的大小关系不大.当磁过滤电流为4.0A时,TiN薄膜结晶良好、膜基结合紧密,生长速率达到最大的1.1μm/h,且具有很强的[200]择优取向.在4.0A磁过滤电流下制备的TiN薄膜所呈现的质量特性是由于此电流下等离子体密度与能量高、基体的位置又正好处于聚集的等离子体区域中心.
- 瞿全炎邱万奇曾德长钟喜春刘正义
- 关键词：等离子体
- 划痕法综合评定膜基结合力被引量：48
- 2009年
- 用划痕实验探索了综合表征膜基结合力的方法。在瑞士CSM仪器的微划痕测试仪(Micro-Scratch Tester,MST划痕仪)对真空多弧离子镀设备制备的WC-Co/TiN膜基结合力进行划痕实验,系统地介绍了如何利用MST划痕仪所测的声发射数据、摩擦力数据及光学、电子扫描划痕形貌来综合评定膜基结合力,并用WS-92划痕仪对评定结果进行验证。评定结果表明,单一的声发射图谱或摩擦力曲线不能准确判定膜基结合力的表征值临界载荷,声发射图谱、摩擦力曲线与划痕形貌综合评定临界载荷结果才可信。WS-92划痕仪测量的结果验证了MST划痕仪评定结果的准确性。
- 瞿全炎邱万奇曾德长刘正义
- 关键词：结合力
- 甲烷浓度对金刚石膜表面形貌及其热导率的影响被引量：1
- 2002年
- 以甲烷为碳源气体 ,用直流等离子射流法制备了金刚石膜 .研究了不同甲烷浓度对金刚石膜的表面形貌和热导率的影响 .结果表明 ,在甲烷浓度φ(CH4)为 1.5 %时 ,可以获得较高热导率的金刚石膜 .
- 代明江宋进兵周克崧戴达煌刘正义瞿全炎
- 关键词：甲烷金刚石膜表面形貌热导率
- CVD金刚石薄膜晶粒尺寸对热导率的影响被引量：3
- 2001年
- 用直流等离子喷射法 ,以甲烷、氢和氩气的混合气体为原料 ,在钼基体上合成了较高质量的CVD金刚石薄膜。对该薄膜的生长面及其背面的晶粒尺寸进行了研究 ,指出其一般规律 ,进一步探讨了CVD金刚石薄膜的晶粒尺寸对其热导率的影响规律。
- 黄元盛刘正义瞿全炎丘万奇
- 关键词：CVD金刚石薄膜晶粒尺寸热导率化学气相沉积
- 过滤电弧离子镀TiN薄膜的制备、性能及微观结构研究
- 硬质薄膜因其优良的力学性能可望作为涂层材料广泛应用各种工模具上，包括钻头、铣刀、拉刀等刀具和各种模具上。TiN硬质薄膜作为使用最广泛、最成熟的刀具薄膜材料，不仅具有远高于一般金属材料的硬度、低的摩擦系数、良好的韧性、高的...
- 瞿全炎
- 关键词：TIN薄膜综合力学性能临界载荷硬质薄膜柱状晶
- 文献传递
- CVD金刚石薄膜热导率的研究被引量：3
- 2002年
- 研究了直流等离子体喷射沉积金刚石膜的晶粒尺寸、晶粒取向、膜厚、杂质和缺陷对金刚石膜的热导率的影响。结果表明 ,随着晶粒尺寸的增大 ,金刚石膜的热导率先慢后快逐渐增大 ;随着膜的增厚 ,热导率先大幅度提高 ,达到一定值后 ,变化率变小 ;晶粒 (111)取向对金刚石膜的热导率最有利 ,其次是 (110 ) ;非金刚石碳相和缺陷都降低膜的热导率 。
- 陈灵黄元盛邱万奇刘正义瞿全炎
- 关键词：CVD金刚石薄膜热导率
