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田陆仙
作品数:
1
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供职机构:
湖南大学激光研究所
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发文基金:
国家教育部博士点基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
刘劲松
湖南大学激光研究所
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湖南大学
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刘劲松
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田陆仙
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仪表技术与传...
年份
1篇
1997
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用于激光烧蚀加工深度测量的自聚焦传感器的设计
1997年
为提高激光烧蚀加工的尺寸精度,将自聚焦测量法应用于激光烧蚀加工的深度测量。研究了自聚焦传感器的测量原理并导出了被测物面深度与光电探测器成象之间的关系,据此分析了各参数对测量分辨率的影响。结论对这种传感器的设计具有重要指导意义。
刘劲松
田陆仙
李孟秋
关键词:
传感器
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