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田昊

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：北方通用电子集团有限公司更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇设计规范
  • 1篇互连
  • 1篇互连设计
  • 1篇LTCC

机构

  • 1篇北方通用电子...

作者

  • 1篇何中伟
  • 1篇刘善喜
  • 1篇余飞
  • 1篇田昊

传媒

  • 1篇集成电路通讯

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
LTCC上多层金属薄膜互连设计规范研究被引量：1
2013年
结合现有的薄膜工艺技术平台，通过LTCC基板表面多层薄膜布线设计和关键工艺技术攻关，从LTCC基体上的多层薄膜的互连结构、互连尺寸、材料选配、加工流程等方面，研究和总结出“LTCC上多层金属薄膜互连设计规范”，有效解决了薄膜工艺与LTCC厚膜工艺的兼容性问题。
何中伟刘善喜余飞田昊
关键词：LTCC
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共1页<1>
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