王金虎
- 作品数：23 被引量：29H指数：3
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金中国航空科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程一般工业技术兵器科学与技术更多>>
- 一种用于保形光学整流罩内表面精密加工的装夹装置
- 一种用于保形光学整流罩内表面精密加工的装夹装置，它涉及一种机械加工装夹装置，以解决现有的保形光学整流罩内表面精密加工的装夹装置的接合面为局部接触甚至点接触，这会产生不可预知的总变形量，而且难以实现整流罩的完全固定，导致加...
- 郭兵张春雨王金虎顾兴士赵清亮孙金霞陈洪许
- 文献传递
- 基于绿碳化硅碟片的金刚石球头砂轮精密在位修整装置及方法
- 基于绿碳化硅碟片的金刚石球头砂轮精密在位修整装置及方法，本发明涉及金刚石球头砂轮的在位精密修整装置及方法。本发明的目的是为了解决现有金刚石球头砂轮磨削加工后工件的加工精度低、成本高、不易于实现、通用性弱的问题。基于绿碳化...
- 郭兵赵清亮王金虎张春雨顾兴士
- 文献传递
- 高陡度蓝宝石保形整流罩的精密磨削关键技术研究
- 相比球形光学整流罩，保形光学整流罩能够显著改善高速飞行器的空气动力学性能，提高光学系统的环境适应性，是保形光学发展的关键技术之一。保形光学整流罩技术涉及材料学、光学、力学、制造技术、镀膜工艺等多学科，能够代表国家的先进科...
- 王金虎
- 关键词：蓝宝石
- 大长径比非球面光学元件凹面加工的装夹装置及装夹方法
- 大长径比非球面光学元件凹面加工的装夹装置及装夹方法，它涉及机加工装夹装置技术领域。本发明为解决现有大长径比非球面光学元件凹面加工时的精密安全装夹及常规加工后难拆卸的问题。装夹装置包括夹具底座、多个定位基体和多个粘结基体，...
- 张春雨郭兵刘晗赵清亮王金虎高志浩于盟
- 高硬脆保形红外整流罩的加工发展现状被引量：2
- 2016年
- 高硬脆保形红外整流罩是一类基于高硬脆红外材料而研制的保形结构整流罩,具有优良的机械及气动性能,因此有广泛的应用前景。本文首先系统分析了空空导弹整流罩结构及其材料的发展趋势,即由传统整流罩转向高硬脆性保形红外整流罩;然后介绍了保形红外整流罩的加工研究现状;最后对高硬脆性保形红外整流罩加工工艺研究方面所面临的困难及未来研究前景进行了探讨。
- 张春雨郭兵王金虎赵清亮孙金霞陈洪许
- 关键词：保形整流罩红外
- 铜互连芯片基材的摩擦电化学性能研究
- 信息产业飞速发展对芯片性能要求越来越高,通过Cu/低k介质多层互连工艺提高芯片集成度和运行速度得到各国学者的认可,但低 k介质的引入为互连层的全局平坦化工艺带来了挑战,传统的化学机械平整化(CMP)工艺在平坦化过程存在较...
- 王金虎
- 关键词：钝化膜交流阻抗
- 一种用于超精密加工的半球形光整砂轮
- 一种用于超精密加工的半球形光整砂轮，本发明涉及半球形光整砂轮。本发明是要解决实际生产中都存在着光整工艺不可避免的抛光加工效率低，研磨无法实现自由曲面光整的缺陷，系统复杂而昂贵，工件光整后的表面粗糙度很难达到超精密精度难以...
- 顾兴士郭兵王金虎张春雨赵清亮
- 文献传递
- 一种用于高陡度保形头罩表面加工的装夹装置及装夹方法
- 一种用于高陡度保形头罩表面加工的装夹装置及装夹方法，它涉及机加工装夹装置技术领域。本发明为解决现有高陡度保形头罩外表面加工时的精密安全装夹及常规加工后难拆卸的问题。装夹装置包括夹具底座、定位组件和固定机构，定位组件固接在...
- 郭兵张春雨王金虎赵清亮高志浩刘晗
- 文献传递
- 电势对硅片摩擦电化学材料去除特性的影响被引量：3
- 2014年
- 为了提高硅片抛光效率,改善抛光表面质量,采用电化学交流阻抗谱法实验研究了极化电势对硅片表面钝化作用的影响规律,结合摩擦电化学实验探讨了极化电势对硅片表面摩擦系数及材料去除特性的影响.结果表明,在碱性CeO2抛光液中,对硅片施加1 V阳极极化电势能够促进其表面形成抑制腐蚀的钝化层,极化电势过高会破坏表面钝化层,过低则抑制钝化层形成.良好的硅片表面钝化层能够有效增大其摩擦系数,提高摩擦电化学实验过程中的材料去除率.
- 王金虎翟文杰
- 关键词：硅片钝化
- ALON高陡度薄壁保形非球面的超精密磨削工艺被引量：2
- 2017年
- 为了实现新型红外陶瓷ALON高陡度薄壁保形非球面的超精密磨削加工,首先根据ALON的材料属性和高陡度薄壁保形非球面的结构特性,进行了其超精密磨削加工工艺性分析,并基于有限元计算方法,完成了面向ALON高陡度薄壁保形非球面的精密夹具的设计以及关键参数的优化。然后完成了ALON的超精密磨削工艺实验,工艺实验结果表明减小工件转速和砂轮粒度都会降低ALON的平均表面粗糙度Ra值,但砂轮粒度对磨削后ALON的表面粗糙度影响更显著。最后实现了ALON高陡度薄壁保形非球面的超精密磨削加工,磨削后的ALON高陡度薄壁保形非球面的面形精度PV值为2μm,表面粗糙度Ra值可达8.6nm。
- 郭兵张春雨王金虎赵清亮陈洪许孙金霞于欣
- 关键词：ALON超精密磨削夹具设计
