王晖
- 作品数：9 被引量：10H指数：3
- 供职机构：天津师范大学物理与电子信息学院更多>>
- 发文基金：天津市科技计划国家自然科学基金天津市应用基础与前沿技术研究计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学金属学及工艺更多>>
- 磁控溅射参数对ZrB2/ZrAlN纳米多层膜结构和性能的影响
- 目前,多层薄膜的研究已引起工业界的广泛关注。过渡金属 Zr 的难熔化合物 (ZrN、ZrC、ZrB)因具有高熔点、高硬度等特性而广泛应用于耐磨材料。其中,ZrB薄膜已被证实具有高硬度,高熔点,极好的抗腐蚀性等特点而在高温...
- 亢原彬刘思鹏王晖邓湘云李德军
- 关键词：磁控溅射
- 文献传递
- 利用磁控溅射技术合成CrN／AlN纳米多层膜
- 目前国际国内高精密的各种切削工具、模具、以及机械部件的消耗十分巨大,为降低成本,提高经济效益,延长此类工具和部件的使用寿命,最好的解决途径是对它们进行表面涂层强化处理,利用强化的涂层直接接触外界恶劣的环境,达到提高它们的...
- 王晖邓湘云李德军
- 关键词：磁控溅射调制周期
- 文献传递
- 工作气压和基底偏压对ZrB_2/AlN纳米多层膜结构和机械性能的影响被引量：3
- 2011年
- 利用射频磁控溅射技术在不同工作气压和不同基底偏压条件下在Si(100)基底上设计合成了ZrB2/AlN纳米多层膜。利用X射线衍射、扫描电子显微镜、纳米力学测试系统和表面轮廓仪分析了工作气压和基底偏压对薄膜的微结构和机械性能的影响。结果表明:大部分ZrB2/AlN多层膜的纳米硬度与弹性模量值高于两种个体材料的混合值。当工作气压为0.4Pa,基底偏压为-60 V时,制备的薄膜具有最高的硬度(36.8 GPa)、最高的弹性模量(488.7 GPa)和最高的临界载荷(43.6 mN)。基底偏压的升高和工作气压的降低会使沉积粒子的动能提高,引起薄膜表面原子迁移率提高,导致薄膜的原子密度提高,起到位错钉扎的作用,晶粒尺度也被限制在纳米尺度,这些均对提高薄膜的硬度和抗裂强度起到了作用。
- 龚杰刘孟寅王海媛薛凤英颜景岳张帅王晖李德军
- 关键词：射频磁控溅射工作气压
- 运用磁控溅射系统制备AlN/-ZrB2多层膜
- 高真空条件下利用磁控溅射系统制备了AlN/ZrB2纳米多层膜.通过XRD、表面轮廓仪及纳米力学测试系统研究了调制周期与AlN、ZrB2单层厚度比例tAlN∶ tZrB2对多层膜生长结构和力学性能的影响.结果表明:多层膜...
- 孙延东王晖邓湘云李德军
- 关键词：MAGNETRONSPUTTERINGMODULATIONMODULATION
- 调制周期对TiB_2/TiAlN纳米多层膜机械性能的影响被引量：4
- 2008年
- 利用射频磁控溅射技术,在室温下合成了具有纳米调制周期的TiB2/TiAlN多层膜。分别采用表面轮廓仪、纳米力学测试系统、多功能材料表面性能实验仪和XRD,分析了调制周期对TiB2/TiAlN纳米多层膜机械性能的影响。结果表明:大部分多层膜的纳米硬度和弹性模量值都高于两种个体材料混合相的值,在调制周期为25nm时,多层膜体系的硬度超过了36GPa,性能达到较佳效果。
- 刘思鹏亢原彬王晖李德军邓湘云
- 关键词：射频磁控溅射调制周期
- 用磁控溅射合成的AlN/ZrB2纳米多层膜的微结构与机械性能
- 利用磁控溅射技术设计合成了AlN/ZrB纳米多层膜。通过XRD、表面轮廓仪及纳米力学测试系统研究了调制周期对多层膜微结构和力学性能的影响。结果表明::多层膜的界面清晰,调制周期性好,在调制周期为30nm时,薄膜显示出很强...
- 王晖亢原彬邓湘云李德军
- 关键词：磁控溅射调制周期
- 文献传递
- 用磁控溅射合成的AlN/ZrB2纳米多层膜的微结构与机械性能
- 本文利用磁控溅射技术设计合成了AlN/ZrB2纳米多层膜。通过XRD、表面轮廓仪及纳米力学测试系统研究了调制周期对多层膜微结构和力学性能的影响。结果表明：多层膜的界面清晰,调制周期性好,在调制周期为30nm时,薄膜显示出...
- 王晖亢原彬邓湘云李德军
- 关键词：磁控溅射微结构机械性能
- 文献传递
- TiB2/TiAlN纳米多层膜的制备与机械性能研究
- 进入20世纪90年代,人们通过多层涂层设计,使薄膜的综合性能进一步提高。而纳米复合薄膜的出现使薄膜的研究进入了新的领域,引起了研究人员的广泛关注。过渡族金属的氮化物、碳化物、硼化物如 TiN、TiN/AlN、TiC、Ti...
- 刘思鹏亢原彬王晖李德军邓湘云
- 关键词：磁控溅射
- 文献传递
- AlN/CrN纳米多层膜的制备及性能的研究被引量：3
- 2008年
- 采用多弧离子镀技术制备AlN/CrN纳米多层膜,研究了多层膜调制周期对AlN生长结构的影响以及纳米多层膜的机械性能.结果表明:在小调制周期下AlN会以立方结构存在,并与CrN层形成同结构共格外延生长,使纳米多层膜产生较大的晶格畸变;AlN/CrN纳米多层膜硬度和弹性模量随着调制周期的减小呈现上升的趋势,当调制周期小于8 nm时其增速明显增大,并在调制周期为3.8 nm时达到最高硬度35.0 GPa和最高弹性模量405 GPa;AlN/CrN纳米多层膜的硬度和弹性模量在小调制周期时的升高与c-AlN的产生并和CrN形成的共格结构有关.
- 王晖亢原彬李德军
- 关键词：多弧离子镀
