王善慈
- 作品数：16 被引量：33H指数：3
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- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
- 多晶硅敏感技术(连载二)被引量：1
- 1994年
- 王善慈
- 关键词：多晶硅
- 多晶硅敏感技术(连载一)被引量：2
- 1994年
- l 前言 多晶硅敏感技术主要讲述多晶硅薄膜的制备、分析方法,结构、特性、敏感机理以及正在研究中的和已经商品化的典型器件。
- 王善慈
- 关键词：多晶硅
- 多晶硅敏感技术(连载三)被引量：1
- 1994年
- 4 多晶硅薄膜的电学特性 多晶硅薄膜的敏感特性与它的电学性质有着密不可分的联系。为了获得良好的多晶 硅敏感器件,必须分析其电学性质,找出它与薄膜结构、进而与生长条件、工艺过程等的联系,以便通过对生长条件及其工艺过程的控制来获得性能良好的多晶硅敏感器件。4.1 概述 与单晶硅相比。
- 王善慈
- 关键词：多晶硅硅薄膜
- 多晶硅应变计及其应用
- 本文介绍了一种适用于特殊环境进行高温测量的多晶硅应变计以及粘贴方法,并进行了性能测试。该种应变计已用于检测电站锅炉焊缝的牢固程度,效果较为理想。
- 孙凤玲田雷王善慈
- 关键词：多晶硅应变计粘接
- 文献传递
- 多晶硅敏感技术(连载四)被引量：5
- 1994年
- 5 多晶硅薄膜的压阻效应 目前,多晶硅薄膜在传感器上的应用主要有压力传感器、加速度传感器、应变计、热电传感器及执行器等。对于前几种可归结为力学量传感器,其理论基础是依据于多晶硅的压阻效应。
- 王善慈
- 关键词：多晶硅压阻效应
- 多晶硅敏感技术(连载五)被引量：2
- 1994年
- 6 多晶硅压力传感器 近些年来,随着多晶硅薄膜地深入研究,以在绝缘层上生长多晶硅薄膜(SOI)制作应变电阻器为敏感元件的压力传感器,其优越性已被广大研究者和生产部门所认可。 ①具有较大的压阻效应,最大值可达单晶硅的70％;并呈良好的线性。
- 王善慈
- 关键词：多晶硅压力传感器
- 硅压力传感器动态综合应力试验失效品的失效分析
- 对硅压力传感器在动态综合应力寿命试验中失效样品的解剖分析，研究了硅压力传感器在温度、电压和压力共同作用下的失效机理，分析了产品设计、工艺与产品可靠性的关系，提出了相应的改进措施。
- 易德兴王蕴辉王善慈
- 关键词：硅压力传感器
- 便携式液体成分传感器
- 本文介绍了一种便携式热传导型液体成分传感器.它的核心部分为用薄膜技术制造的热电偶阵列及热源芯片.该传感器的响应时间约为1秒,对水/乙醇混合液的测量精度为1﹪.
- 庄庆德古田土节夫王善慈
- 关键词：热传导传感器
- 文献传递
- 二线制带隔离膜片的扩散硅液位变送器被引量：4
- 2001年
- 由于液位与液体静压力有关 ,因此可以通过静压力测量得到液位的大小。二线制隔离膜片扩散硅液位变送器是利用单晶硅的压阻效应 ,通过电阻的变化 ,得到静压力的大小 ,再通过惠斯登电桥及功能模块电路将静压力转换成电流信号输出 ,从而建立起输出信号与液位的线性对应关系 ,实现对液体深度的测量。还介绍了该种变送器的基本结构。
- 李瑞李丹齐虹田雷王善慈孙凤玲
- 关键词：变送器液位测量扩散硅压力传感器密封
- 硅压力传感器的可靠性试验方法及失效分析被引量：17
- 2001年
- 通过对一种特定结构的硅压力传感器进行动态综合应力寿命试验 ,探讨了硅压力传感器的可靠性实验方法 ;并对失效样品进行了解剖分析 ,研究了它在温度、电压和压力共同作用下的失效机理 ,分析了产品设计、工艺与可靠性的关系 ,提出了相应的改进措施。
- 齐虹王蕴辉易德兴王善慈
- 关键词：可靠性失效模式压力传感器硅
