杨佳苗
- 作品数：37 被引量：48H指数：3
- 供职机构：北京理工大学更多>>
- 发文基金：国家重大科学仪器设备开发专项国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 反射式共焦透镜焦距测量方法
- 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种反射式共焦透镜焦距测量方法。该方法通过共焦测量方法配合平面反射镜精确定位透镜表面顶点和焦点位置，进而测得透镜顶焦距及焦距。本发明首次提出通过共焦响应曲线最大值点对应被测透镜焦点和表...
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- 反射式差动共焦透镜焦距测量方法
- 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种反射式差动共焦透镜焦距测量方法。该方法通过差动共焦测量方法配合平面反射镜精确定位透镜表面顶点和焦点位置，进而测得透镜顶焦距及焦距。本发明首次提出通过差动共焦响应曲线过零点时对应被测...
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- 文献传递
- 共焦干涉定焦及曲率半径测量方法
- 本发明涉及一种共焦干涉定焦及曲率半径测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明是在共焦光路的基础上引入干涉参考光，然后利用该共焦干涉响应曲线的最大值来精确定位被测球面元件表面的顶点及球心位置，进而得到被测球面元件表面的曲...
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- 差动共焦内调焦法透镜光轴及厚度测量方法
- 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种差动共焦内调焦法透镜光轴及厚度测量方法与装置。该方法借助内调焦物镜，使用自准直法，对透镜光轴进行高精度调整，使用差动共焦响应曲线过绝对零点时差动共焦光锥顶点与被测透镜表面顶点重合的...
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- 文献传递
- 共焦系统球差测量方法
- 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种共焦系统球差测量方法。该方法将环形光瞳滤波技术和共焦定焦技术融合，测得当不同通光高度的环形光束通过被测系统后其聚焦焦点移动的距离，进而得到被测系统的球差。本发明首次将共焦测量技术扩...
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- 文献传递
- 差动共焦系统球差测量方法
- 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种差动共焦系统球差测量方法。该方法将环形光瞳滤波技术和差动共焦定焦技术融合，测得当不同通光高度的环形光束通过被测系统后其聚焦焦点移动的距离，进而得到被测系统的球差。本发明首次将差动共...
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- 文献传递
- 激光差动共焦干涉元件参数测量方法与技术研究
- 球面元件由于其优异的加工性能,在激光核聚变系统、极紫外光刻机、新一代球形惯性仪表等高端系统中仍被广泛应用。但球面元件的检测精度已成为提高球面元件加工精度与质量的技术瓶颈。因此,研究如何改善球面元件测量精度的方法与技术对于...
- 杨佳苗
- 关键词：面形曲率半径波前畸变不确定度评定
- 激光差动共焦曲率半径测量系统的研制被引量：16
- 2011年
- 针对国内高精度曲率半径计量需求,研制一套激光差动共焦曲率半径测量系统。该系统采用差动共焦定焦技术,利用轴向光强响应曲线的过零点精确对应物镜聚焦焦点这一特性,借助过零点对被测件的猫眼和共焦位置进行精密瞄准定位,通过干涉测长技术获取两点间的距离,继而实现曲率半径的高精度测量。该测量系统的机电控制由主控软件完成,可实现机电扫描、数据采集及数据处理,自动化程度高。实验证明,该系统定焦灵敏度高,受环境波动影响小,测量精度可达3×10-6,满足了高精度曲率半径的计量需求。
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- 关键词：曲率半径定焦
- 激光共焦透镜曲率半径测量系统被引量：26
- 2013年
- 基于共焦技术独特的轴向层析定焦能力并结合气浮导轨平移台和激光干涉仪测长系统,研制了一套高精度、非接触激光共焦透镜曲率半径测量系统。该系统利用共焦轴向光强响应曲线的峰值点对应系统物镜聚焦焦点这一特性,使用峰值点对被测透镜的猫眼位置及共焦位置进行精确定位,并结合激光干涉仪获得透镜猫眼位置及共焦位置坐标值,从而计算得到透镜的曲率半径。系统由主控软件控制气浮导轨带动被测透镜在猫眼位置及共焦位置附近进行扫描测量,并实现信号采集和数据处理。实验表明,利用该系统测量透镜的曲率半径时,测量重复性优于2μm,满足国内高精度透镜曲率半径测量的精度需求。该系统测量速度快、操作简便、结构简单且易于实现小型化。
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- 关键词：非接触测量激光干涉仪
- 反射式差动共焦透镜焦距测量方法
- 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种反射式差动共焦透镜焦距测量方法。该方法通过差动共焦测量方法配合平面反射镜精确定位透镜表面顶点和焦点位置，进而测得透镜顶焦距及焦距。本发明首次提出通过差动共焦响应曲线过零点时对应被测...
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