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曹坤

作品数：77 被引量：1H指数：1
供职机构：华中科技大学更多>>
相关领域：文化科学一般工业技术自动化与计算机技术建筑科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 75篇专利
  • 2篇学位论文

领域

  • 8篇一般工业技术
  • 8篇文化科学
  • 7篇自动化与计算...
  • 3篇化学工程
  • 3篇电子电信
  • 3篇建筑科学
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 33篇原子层沉积
  • 11篇包覆
  • 10篇封装
  • 8篇量子
  • 8篇量子点
  • 8篇纳米
  • 6篇等离子体增强
  • 6篇氧化物
  • 5篇修饰
  • 5篇渗透率
  • 5篇前驱体
  • 5篇金属
  • 5篇催化
  • 5篇催化剂
  • 4篇旋涂
  • 4篇氧化铝薄膜
  • 4篇原子
  • 4篇喷头
  • 4篇气体
  • 4篇金属氧化物

机构

  • 77篇华中科技大学

作者

  • 77篇曹坤
  • 74篇陈蓉
  • 61篇单斌
  • 19篇李云
  • 17篇文艳伟
  • 9篇刘潇
  • 6篇曲锴
  • 5篇段晨龙
  • 5篇刘媛媛
  • 4篇张晶
  • 4篇朱倩倩
  • 4篇蔡佳明
  • 3篇何文杰
  • 2篇林源
  • 2篇王晓雷
  • 1篇周涛
  • 1篇严谨
  • 1篇张晓东

年份

  • 2篇2024
  • 4篇2023
  • 6篇2022
  • 10篇2021
  • 15篇2020
  • 11篇2019
  • 10篇2018
  • 4篇2017
  • 3篇2016
  • 4篇2015
  • 5篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2004
共 77 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种高速钢刀具保护涂层的制备方法
本发明属于薄膜制备领域，并具体公开了一种高速钢刀具保护涂层的制备方法，包括：对刀具表面进行预处理，将其置于等离子体增强化学气相沉积设备中沉积微米级无机薄膜；将其置于等离子体增强原子层沉积装备中，在适当的温度、压力及合适的...
陈蓉李云单斌曹坤刘媛媛杨惠之
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氧化铝基复合纤维及其制备方法和制件
本发明涉及复合材料技术领域，特别是涉及一种氧化铝基复合纤维及其制备方法和制件。所述氧化铝基复合纤维的制备方法包括以下步骤：S10，在外部磁场作用下，利用等离子体对高分子聚合物纤维进行表面改性，引入极性基团；及S30，采用...
陈蓉聂煜峰曹坤李邹霜邓匡举
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一种基于原子层沉积的量子点光电探测器及其制备方法
本发明属于光学材料制备领域，并公开了一种基于原子层沉积的量子点光电探测器及其制备方法。该制备方法包括将量子点溶液旋涂在洁净基底上制备第一量子点薄膜，然后将有机物配体溶液滴覆在第一量子点薄膜上并静置一段时间，待配体交换完成...
陈蓉姜晨晨单斌曹坤文艳伟周彬泽向勤勇耿士才井尧刘梦佳
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一种金属氧化物/铂纳米颗粒复合催化剂的制备方法
本发明公开了一种金属氧化物/铂纳米颗粒复合催化剂的制备方法，该方法包括：使用原子层沉积方法生长铂纳米催化剂颗粒和金属氧化物，通过改变原子层沉积循环次数，从而沉积所需厚度的氧化物复合层和所需粒径的纳米颗粒，两者结合形成复合...
陈蓉蔡佳明曹坤单斌文艳伟
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一种用于微纳米颗粒表面修饰的装置和方法
本发明公开了一种用于微纳米颗粒表面修饰的装置，包括：反应腔，其内部形成的空腔用于作为前驱体与微纳米颗粒的反应空间；多个前驱体供应装置，其分别通过管道与所述反应腔相通以提供不同的前驱体；载气输送系统，前驱体通过该载气输送系...
陈蓉段晨龙刘潇曹坤单斌文艳伟
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气体释放率测量系统及控制方法
本申请涉及一种气体释放率测量系统及控制方法。气体释放率测量系统包括放样室、第一抽真空装置、第一管路、检测室、第二抽真空装置、第一阀门和分压检测装置。放样室用于存放释放目标气体的待测样品。第一抽真空装置与放样室连通。检测室...
陈蓉刘晨曦单斌曹坤陈志平吴润卿
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基于等离子体原子层沉积的包覆纳米晶薄膜的方法及产品
本发明属于纳米晶薄膜制备领域，并具体公开了一种基于等离子体原子层沉积的包覆纳米晶薄膜的方法及产品。该方法包括下列步骤：(a)制备纳米晶薄膜，将获得的纳米晶薄膜置于原子层沉积装置的反应腔体中，加热；(b)向反应腔体内通入气...
陈蓉井尧曹坤周彬泽姜晨晨耿士才刘梦佳
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一种原子层沉积前驱体输出装置
本发明公开了一种原子层沉积前驱体输出装置，该输出装置由装载前驱体的钢瓶（101），缓存腔（103），连接所述钢瓶（101）与缓存腔（103）的第一开关阀（102），位于所述缓存腔腔体内且与所述缓存腔腔体气密性良好的运动活...
陈蓉邓章曹坤单斌文艳伟
一种用于原子层沉积薄膜疲劳定角弯曲测试机
本实用新型属于薄膜折弯相关领域，并公开了一种用于原子层沉积薄膜疲劳定角弯曲测试机。该测试机包括底板和设置在该底板上的折弯机构、传动机构和驱动机构，折弯机构包括固定连接在底板上第一托架和第二托架，以及相对设置的第一盖板和第...
陈蓉邢泽华单斌曹坤李云刘媛媛杨惠之
通孔填充方法及通孔填充装置
本发明涉及一种通孔填充方法及通孔填充装置，该通孔填充方法包括以下步骤：在基体上刻蚀通孔，通孔的底壁为第一表面，通孔的侧壁为第二表面；使用ALD工艺将第一前驱体导向所述第一表面和所述第二表面以形成第一填充层；使用CVD工艺...
陈蓉李易诚曹坤单斌张净铭严谨齐子廉
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