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徐晟

作品数：17 被引量：15H指数：2
供职机构：天津理工大学更多>>
发文基金：天津市自然科学基金国家自然科学基金天津市教委基金更多>>
相关领域：电子电信理学化学工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇专利
  • 4篇期刊文章
  • 2篇科技成果
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 6篇电子电信
  • 1篇化学工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 8篇金刚石
  • 8篇刚石
  • 7篇多层膜
  • 7篇多层膜结构
  • 6篇声表面波
  • 4篇纳米
  • 4篇传感
  • 3篇射频磁控
  • 3篇射频磁控溅射
  • 3篇声表面波器件
  • 3篇纳米金刚石
  • 3篇金刚石膜
  • 3篇溅射
  • 3篇感器
  • 3篇传感器
  • 3篇磁控
  • 3篇磁控溅射
  • 2篇压电薄膜
  • 2篇射频磁控溅射...
  • 2篇射频识别

机构

  • 17篇天津理工大学
  • 1篇天津大学

作者

  • 17篇徐晟
  • 16篇杨保和
  • 8篇陈希明
  • 6篇李翠平
  • 5篇孙大智
  • 4篇苏林
  • 4篇熊瑛
  • 3篇杨晓苹
  • 3篇戴玮
  • 3篇钱莉荣
  • 3篇李明
  • 2篇马靖
  • 2篇李红姬
  • 2篇李明吉
  • 2篇孙素娟
  • 2篇张乾坤
  • 1篇姜道连
  • 1篇王芳
  • 1篇赵捷
  • 1篇吴小国

传媒

  • 3篇光电子．激光
  • 1篇天津理工大学...

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2013
  • 3篇2012
  • 1篇2009
  • 1篇2007
  • 4篇2006
  • 3篇2005
共 17 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
LiNbO<Sub>3</Sub>/ZnO/金刚石多层膜结构声表面波器件及其制备方法
本发明公开了一种LiNbO<Sub>3</Sub>/ZnO/金刚石多层膜结构声表面波器件及制备方法。所说的多层膜结构声表面波器件是在CVD金刚石膜和LiNbO<Sub>3</Sub>薄膜之间有高C-轴择优取向的纳米ZnO...
杨保和陈希明熊瑛徐晟孙大智李明
文献传递
一种低表面粗糙度纳米金刚石膜的制备方法
一种低表面粗糙度纳米金刚石膜的制备方法，步骤如下：将抛光Si片超声清洗以除去杂质和污染物；采用射频磁控溅射法在Si衬底上沉积多晶Ti膜；采用丙酮、二甲基亚砜和纳米金刚石粉的悬浊液对衬底进行超声预处理；在沉积有纳米金刚石粉...
李翠平杨保和李明吉李红姬钱莉荣徐晟戴玮
文献传递
多层结构高频声表面波器件的模拟
声表面波器件的基片材料对整个器件性能有重要影响。本文用模态耦合模型（Couplingof Modes,COM）来仿真基于128Y-X LiNbO3压电单晶和ZnO/金刚石、LiNbO3/金刚石两种多层膜结构基片的声表面波...
陈希明徐晟马靖杨保和
关键词：多层膜结构声表面波器件
文献传递
IDT/ ZnO/ Al/金刚石多层膜结构的声表面波射频识别标签
本发明公开了一种IDT/ZnO/Al/金刚石多层膜结构的声表面波射频识别标签，标签由端口谐振器和标签天线组成。该端口谐振器采用的是多层膜结构，可以提高标签的储存容量，增加标签的综合性能。与端口谐振器进行匹配设计了一款新型...
杨保和孙素娟徐晟李翠平
文献传递
用于SAW器件的C轴择优取向LiNbO_3薄膜的制备及结构研究被引量：4
2006年
采用射频（RF）磁控溅射法在金刚石（111）衬底上沉积LiNbO3（LN）薄膜，借助X射线衍射技术（XRD），研究了外加偏压（0～80V）和衬底温度（200～500℃）等工艺参数对LiNbO3薄膜结构和取向性的影响。实验结果表明，在衬底温度为200℃、外加偏压为～80V的T艺条件下，LiNbO3的（006）衍射峰强度超过LN的（012）衍射峰强度，在金刚石（111）衬底上获得较高c轴取向的LN薄膜。并且对C轴择优取向LN薄膜的形成机理进行了探讨。
杨保和陈希明赵捷杨晓苹徐晟李明
关键词：金刚石射频磁控溅射
金刚石衬底上压电薄膜的制备研究
声表面波器件(SurfaceAcousticWaveDevice)是通讯系统中重要的器件之一。由于目前通讯器件朝着高频化发展，优良的高频声表面波器件必须具有高声速、高机电耦合系数、低传播损耗、高温度稳定性等特性，因此越来...
徐晟
关键词：声表面波器件压电薄膜
文献传递
金刚石声表面波器件的研制被引量：2
2006年
对ZnO/IDT/金刚石多层结构高频声表面波滤波器进行模拟设计、样件制备和测量.利用热丝化学气相沉积方法,在抛光S i基底沉积致密、光滑的CVD金刚石膜;采用磁控溅射法在金刚石薄膜上制备C轴取向的氧化锌压电薄膜.研制的ZnO/IDT/金刚石/硅结构SAW滤波器,叉指换能器(IDT)指宽1.7μm,SAW滤波器频率达到1.4 GHz.
徐晟陈希明杨晓苹杨保和
关键词：声表面波多层膜结构金刚石薄膜
激光诱导铌酸锂∕金刚石膜SAW器件的研究
杨保和吴晓国姜道连熊瑛孙大智苏林李明徐晟陈希明
项目利用金刚石膜独特的优异性能研制高频金刚石薄膜声表面波滤波器样件，对金刚石、铌酸锂各层薄膜的制备和性能进行了研究，在此基础上成功设计了集成了铌酸锂／IDT／金刚石／硅结构的SAW滤波器，其中心频率可达2.5GHz，相对...
关键词：
关键词：铌酸锂金刚石膜SAW器件激光诱导
一种薄膜体声波谐振器基片及其制备方法
本发明公开了一种薄膜体声波谐振器基片及其制备方法，所述薄膜体声波谐振器基片采用W/压电薄膜/W/DLC/空气隙/Si结构。W/压电薄膜/W/DLC/空气隙/Si结构的薄膜体声波谐振器(FBAR)基片，具有高频、高Q、很好...
杨保和张乾坤苏林徐晟
文献传递
IDT/AlN/金刚石多层膜结构的声表面波射频识别标签
本发明公开了一种基于IDT/AlN/金刚石多层膜结构的声表面波射频识别标签，其中的单端口谐振器部分采用的是IDT/AlN/金刚石多层膜结构，标签天线采用的是倒F天线的形式。采用IDT/AlN/金刚石多层膜结构可以提高标签...
杨保和孙素娟徐晟李翠平
文献传递
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