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张玉春

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇离子束
  • 1篇离子束混合
  • 1篇离子注入

机构

  • 1篇中国科学院上...

作者

  • 1篇孙义林
  • 1篇张福民
  • 1篇张玉春
  • 1篇曹德福

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇1991
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一台新型的宽束离子束混合装置被引量：1
1991年
本文描述了材料表面改性或优化的新型宽束离子束混合装置。系统含有引出离子不同能量范围的三种离子源。可用于单离子注入,离子束混合,单离子或反应离子束溅射淀积以及离子束增强淀积。它装备有大的水冷却台,可进行各种复杂的运动,以满足处理各种复杂形状的大的工件的需要。本文还对该机的两种使用实例做了介绍。
孙义林张玉春曹德福张福民陈酉善
关键词：离子束混合离子注入
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共1页<1>
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