您的位置： 专家智库 > >

唐文剑

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 3篇电子束曝光
  • 3篇电子束曝光机
  • 3篇亚微米
  • 3篇曝光机
  • 3篇微米
  • 1篇电子光学
  • 1篇电子束
  • 1篇偏转
  • 1篇偏转系统
  • 1篇光学

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇唐文剑
  • 3篇武丰煜
  • 2篇张福安
  • 1篇陈建平
  • 1篇安秉谦

传媒

  • 3篇电工电能新技...

年份

  • 1篇1996
  • 1篇1995
  • 1篇1994
共 3 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
DY－5型亚微米电子束曝光机电子光学柱的一些问题被引量：1
1995年
本文概要地比较了扫描电镜和电子束曝光机二者电子光学柱的异同。介绍了把一台ＡＭＲＡＹ系列电镜的电子光柱改造成ＤＹ－５型电子束曝光机电子光学柱所做的工作。最后给出了一组试验结果。
武丰煜唐文剑张福安安秉谦
关键词：电子束曝光
DY－5型亚微米电子束曝光机偏转系统
1996年
本文将重点介绍ＤＹ－５型电子束曝光机的偏转系统的构成、特点及结果。
唐文剑武丰煜唐辉陈建平
关键词：偏转系统亚微米
DY－5型亚微米电子束曝光机多座标系重合的调校技术
1994年
在电子束曝光机中，工件传动台、电磁偏转场及标记三者相对应的座标轴是否重合，是影响图形拼接精度的重要因素之一。本文概要地介绍了调校三座标系相互重合的方法，并给出了ＤＹ－５型亚微米电子束曝光机调校结果。
武丰煜唐文剑张福安
关键词：电子束曝光机
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0