2025年2月13日
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唐政清
作品数:
6
被引量:2
H指数:1
供职机构:
东南大学
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相关领域:
一般工业技术
理学
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合作作者
陈洪元
东南大学
陆祖宏
东南大学
祁建平
东南大学电子科学与工程学院
许钢
东南大学
崔秀华
东南大学
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机构
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东南大学
作者
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唐政清
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陈洪元
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陆祖宏
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崔秀华
1篇
许钢
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祁建平
传媒
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东南大学学报...
1篇
真空科学与技...
年份
1篇
1991
1篇
1990
2篇
1989
2篇
1986
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6
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极高真空分离规
极高真空分离规是一种测量真空的规管。本发明是由圆锥状鼠笼式栅极,锥形引出极。圆筒形反射极,环形灯丝,短收集极所组成,并利用真空管导作为外屏,使其灵敏度提高,降低光电流本底,加上自调制方法的应用,致使其测量下限拓宽到10↑...
唐政清
陈洪元
陆祖宏
文献传递
热阴极极高真空规
热阴极极高真空规属真空测量技术领域。;本发明是组合了鼠笼式栅极,短收集极与环 形灯丝,利用真空管导作为外屏,并加以适当的 电参量,使其灵敏度提高,X射线发射源位置改 变,以降低光电流本底,拓宽了测量下限。;本发明可用于1...
陈洪元
唐政清
黄惠芬
文献传递
溅射中性粒子的质谱研究
被引量:2
1990年
一些导体、半导体和绝缘体样品用辉光放电型溅射中性粒子谱仪作了质谱分析。溅射中性粒子流中,原子碎片占多数时,信号离子流能正确反映样品组分的含量;若分子碎片较多时,由于电离时伴有分解过程,定量分析较为困难。
唐政清
祁建平
关键词:
辉光放电
质谱研究
质谱分析
电离过程
离子源
二极射频辉光放电获取表面信息的机理与特性研究
1989年
本文对射频辉光放电离子源用后电离方式产生中性粒子信号的机理进行了研究。介绍了放电等离子体的探针诊断与引出离子流的能量分析实验。得出了离子能量分布的中心在20~25eV适于用四极质谱分析的结论。
唐政清
丁力
关键词:
辉光放电
离子源
质谱
真空开关真空度在线检测装置
真空开关真空度在线检测装置是一种用于即时测量真空开关真空度的装置,涉及真空度检测。它主要由真空开关、电源、计管组成,其中,计管由阴极、阴极杆、阴极下端板、点火极和磁钢组成,阴极为柱状,内设阶梯通孔形空腔,该空腔与真空开关...
唐政清
许钢
崔秀华
文献传递
极高真空分离规
极高真空分离规是一种测量真空的规管。;本发明是由圆锥状鼠笼式栅极、锥形引出极、圆筒形反射极、环形灯丝、短收集极所组成,并利用真空管导作为外屏,使其灵敏度提高,降低光电流本底,加上自调制方法的应用,致使其测量下限拓宽到10...
唐政清
陈洪元
陆祖宏
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