唐伟星
- 作品数：10 被引量：16H指数：3
- 供职机构：同济大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程核科学技术电子电信更多>>
- 软X射线激光用分束镜研制被引量：6
- 2003年
- 软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的,是测量临界面附近等离子体状态的重要方法。基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13.9 nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜,实测表明其面形精度达到纳米量级,反射率和透过率乘积大于1.6％。
- 王占山吴永刚唐伟星秦树基陈玲燕徐向东洪义麟付绍军朱杰崔明启
- 关键词：软X射线激光多层膜等离子体
- 二维正弦调制靶的图形转移研究被引量：3
- 2002年
- 根据惯性约束聚变分解实验的要求 ,通过激光干涉法在光刻胶表面制备正弦起伏图形 ,结合电镀图形转移工艺 ,获得了波长 2 0～ 10 0 μm、振幅 0 2～ 3 5 μm的一系列Ni基图形转移模板 ,并进一步将正弦起伏图形转移到聚苯乙烯薄膜表面 ,制备出聚苯乙烯二维调制箔靶。研究了图形的精确转移工艺 ,特别是深振幅样品的脱模工艺 ,对工艺参数的优化进行了讨论。采用台阶仪和原子力显微镜监控图形转移过程 ,比较了光刻胶表面图形和一次、二次电镀转移图形以及转移到聚苯乙烯薄膜上图形的形貌 。
- 孙骐周斌黄耀东沈军吴广明唐伟星杨帆王珏
- 关键词：平面调制靶电镀惯性约束聚变
- X射线激光自支撑Mo滤光膜的制备及特性研究
- 用直流平面磁控溅射方法在抛光玻璃衬底上淀积Mo薄膜,将薄膜在真空环境中进行热处理,用扫描探针显微镜(SPM)方法观察了薄膜的表面形貌,X-射线衍射方法分析了薄膜中应力各向异性特征及其与淀积时溅射气体压强和真空热处理的关系...
- 吴永刚曹二华王占山魏军明顾春时唐伟星陈玲燕
- 关键词：MO薄膜表面形貌薄膜应力
- 文献传递
- 自截止腐蚀制备Si平面薄膜中的B杂质分析被引量：1
- 2002年
- 以重掺杂自截止腐蚀工艺制备的厚度为 3～ 4μm的自支撑Si平面薄膜已在X光激光和惯性约束聚变分解实验中得到应用。制备过程中 ,重掺杂B杂质的引入会对获得的Si平面薄膜的应用带来影响。本工作研究采用次级离子质谱 (SIMS)测量Si平面薄膜中B杂质的浓度分布 ,结合在软X光波段下同步辐射直接测得的Si薄膜的透过率结果 。
- 周斌黄耀东李忻孙骐车录锋沈军吴广明唐伟星熊斌王跃林
- 关键词：重掺杂硼
- 极紫外与软X射线偏振光学元件研究
- 王占山王洪昌王风丽陈玲燕秦树基顾忠祥张众马彬吴文娟唐伟星
- 极紫外与软X射线偏振元件是同步辐射上应用的重要光学元件。近期可能应用于北京同步辐射软X射线光束线，主要用于偏振测量，这有可能产生一些效益。上海正在建设上海光源，有可能也建设极紫外与软X射线偏振测量装置，这个项目的积累也为...
- 关键词：
- 关键词：极紫外软X射线
- 13.9nm软X射线多层膜分束镜
- 王占山陈玲燕张众王洪昌秦树基吴永刚王风丽吴文娟王利唐伟星
- 基于分束镜反射率和透射率的乘积为衡量标准的原则,设计了13.9nm软X射线激光干涉测量所需的多层膜分束镜,用磁控溅射法在有效面积达10mm×10mm,厚100nm的氮化硅窗口上镀制Mo/Si多层膜,实现了分束镜制作.用表...
- 关键词：
- 关键词：软X射线多层膜
- X射线激光自支撑Mo滤光膜的制备及特性研究被引量：4
- 2001年
- 用直流平面磁控溅射方法在抛光玻璃衬底上淀积 Mo薄膜 ,将薄膜在真空环境中进行热处理 ,用扫描探针显微镜 ( SPM)方法观察了薄膜的表面形貌 ,X-射线衍射方法分析了薄膜中应力各向异性特征及其与淀积时溅射气体压强和真空热处理的关系。发现薄膜中晶粒具有明显的择优取向 ,内应力沿径向对称分布 ,切向应力比径向应力更具有压应力特性 ,应力的各向异性特征与溅射原子的入射方向有关。真空热处理对薄膜中压应力的释放作用不明显 ,然而能有效地释放薄膜中的张应力。用 HF酸腐蚀衬底的方法制备了自支撑 Mo薄膜 ,发现脱膜前后薄膜表面微观形貌未产生大的变化。
- 吴永刚曹二华王占山魏军明顾春时唐伟星陈玲燕
- 关键词：磁控溅射表面形貌自支撑
- 软X射线激光用分束镜研究
- 2002年
- 软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过马赫-詹德干涉仪完成的，是测量驱动激光临界面附近等离子体状态的重要方法。本文基于软X射线多层膜的性能特点，指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好，分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13．9nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜，实测表明其面形精度达到纳米量级，反射率和透过率乘积大于1．6％。
- 王占山唐伟星吴永刚秦树基陈玲燕徐向东洪毅麟付绍军朱杰崔启明
- 关键词：激光多层膜等离子体入射角反射率透过率
- X射线激光Nd薄膜靶表面氧化特性研究
- 2000年
- 利用石英晶体振荡技术测量了不同环境中稀土元素 Nd薄膜靶表面氧化速率 ,用俄歇电子能谱 ,扫描电镜 ,X射线衍射 ,X射线光电子能谱分析了 Nd薄膜表面氧化过程 ,发现保存环境对靶的表面氧化行为有重要影响。空气中水分是引起 Nd快速氧化的关键因素。表面氧化层为团聚状的非晶结构 ,氧化物与金属的体积比较小可能是引起 Nd薄膜较易氧化的原因。Nd薄膜靶表面覆盖有一层氢氧化物 ,其厚度按保存在真空、干燥空气和潮湿空气环境而依次递增。
- 吴永刚陈玲燕张哲魏军明秦树基唐伟星
- 关键词：X射线激光稀土元素
- 不同环境中X射线激光Yb靶表面氧化研究被引量：2
- 2000年
- 用电子束蒸发方法淀积制备 X射线激光稀土元素 Yb薄膜靶 ,将薄膜靶在不同的环境气氛中进行氧化。用 X射线光电子谱 ( XPS)、俄歇电子谱 ( AES)和 X射线衍射 ( XRD)方法研究了 Yb薄膜靶表面氧化层的元素价态、组分和微观结构。发现薄膜表面氧化层中存在分层结构 ,干燥空气中储存的 Yb薄膜表面氧化层由表及里的组分依次为化学吸附水、氢氧化物、氧化物及金属元素。表面氢氧化物和氧化物以非晶态形式存在。潮湿空气中水分是薄膜靶氧化速率增加的主要原因。
- 吴永刚陈玲燕张哲魏军明秦树基唐伟星
- 关键词：X射线激光稀土元素
