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声光调制器的特性参数及多色光的合成: 1998年; 声光调制器由声光晶体和换能器组成 ,它们各有其特性参数。多级衍射光所引起的互调光、衍射光的压缩和交叉调制现象直接影响多色光的合成。时序法可实现三原色光的合成。; 黄义均黄泽永严佩英; 关键词：声光调制器换能器

离轴照明空间成像的偏振光影响研究被引量：1: 2003年; 在投影光刻中矢量衍射理论适用于研究照明光的偏振态对空间成像的影响。主要研究了在离轴照明方式下照明光的偏振态对线条图形的影响。发现在高数值孔径时光的偏振状态严重影响了离轴照明空间成像,结果表明可以通过控制照明光的偏振态来改善光学系统的分辨率。; 余国彬罗先刚姚汉民严佩英胡松严伟; 关键词：投影光刻离轴照明偏振光光学光刻

激光发射自适应光学校正大气湍流的初步实验被引量：1: 1990年; 本文报告了用自适应光学技术实时补偿大气湍流的激光发射初步实验结果。校正后的靶面峰值能量大约是校正前的3.5倍。; 姜文汉严佩英戴子昌李斌成; 关键词：自适应光学大气湍流激光发射大气传输

一种具有反射式光学系统的亚波长光刻方法和系统: 本发明提供了一种具有反射式光学系统的亚波长光刻方法和系统，利用反射镜阵列汇聚光束，运用光束相干叠加技术，通过调整多相干光的参数(振幅、相位、偏振等)实现亚波长的光学聚焦，并利用聚焦光斑进行光刻。系统包括激光器、激光能量调...; 张春梅邢薇唐小萍严佩英胡松王淑蓉赵立新严伟; 文献传递

光子晶体变频装置: 光子晶体可为一维光子晶体和二维光子晶体，一维光子晶体由基片和介质膜层构成，介质膜层由高低折射率材料交替排列呈周期结构分布，通过离子束淀积法、真空磁控溅射法、热压、溶胶－凝胶、化学气相沉积法、真空蒸发法等技术在基片上制作得...; 张晓玉高洪涛杜春雷严佩英姚汉民; 文献传递

超微细光刻中偏振光成像研究被引量：4: 2003年; 在大数值孔径、短波长的投影光学光刻系统中,对S偏振光、P偏振光和非偏振光在硅片上的成像进行了研究,发现S偏振光成像具有最高的光强对数斜率值和最大的对比度;模拟了S偏振光通过掩模的电场分布机理,结果表明,可以通过调制照明光的偏振性来提高成像对比度和分辨力。; 余国彬姚汉民罗先刚严佩英; 关键词：偏振光像质数值孔径

纳米光刻技术被引量：11: 2000年; 纳米科学技术将成为新世纪信息时代的核心 .纳米量级结构作为研究微观量子世界的重要基础之一 ,其制作技术是整个纳米技术的核心基础 ,已成为当前世界科学研究急需解决的问题 .文章针对目前的科技发展情况 ,介绍了几种纳米光刻技术的实现新途径、发展现状和关键问题 .详细阐述了波前工程、电子束光刻、离子束光刻、X射线光刻、原子光刻、干涉光刻、极紫外光刻以及 15 7光刻的原理和实现难点 .作为下一代各种光刻技术 ,它们都有望实现纳米量级的图形 ,但各种技术可实现的分辨力极限有所不同 .5 0nm以上分辨力可以用 193nm光刻结合波前工程和干涉光刻实现 .5 0nm左右的分辨力可用极紫外光刻、15 7光刻和 12 6nm光刻实现 .而电子束光刻、离子束光刻、X射线光刻、原子光刻则可望实现几个纳米的分辨力 .但是这些技术的完善还有待于诸如光学系统、抗蚀剂、精密控制等等相关技术的成熟 .文章还讨论了纳米光刻技术的应用前景 .; 罗先刚姚汉民严佩英陈旭南冯伯儒; 关键词：纳米光刻电子束光刻

偏振膜高分辨力掩模板: 偏振膜高分辨力掩模板，属于对投影光学光刻系统中掩模板结构的进一步优化改进，其特征是根据掩模板上的特征图形，在掩模上相应的区域覆盖一层偏振膜，偏振膜将使不透光区域相邻的透光区域上透过偏振方向相互垂直的线偏振成像光束(或旋向...; 余国彬姚汉民罗先刚严佩英胡松刘业异; 文献传递

动态光子晶体产生方法: 动态光子晶体产生方法，以高频驱动电源结合压电换能器产生超声波耦合到声光晶体中，当声光晶体中有超声波传过时，材料的折射率受应变的调制而呈周期性变化，声光晶体具有光子带隙，且光子带隙随超声波的调制而改变，成为动态光子晶体。; 张晓玉高洪涛孙祖红钟德蓉严佩英姚汉民; 文献传递

生物芯片仪器研制: 姚汉民胡松吴岚军唐小萍刘业异王理明赵立新张春野罗正全王肇志王淑蓉严佩英严伟闫献勇邢薇王珺徐文祥高钧何坤尧刘鸿林云生胡志成余国彬马平陈兴俊; “生物芯片仪器研制”是中国科学院知识创新重大项目之一，该项目设置“激光共聚焦生物芯片扫描仪”、“生物芯片点样仪”、“CCD生物芯片检测仪”三个研发课题。项目瞄准国际发展趋势，创新研发了“激光共聚焦生物芯片扫描仪”、“CC...; 关键词：

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严佩英