靖红军
- 作品数：16 被引量：21H指数：2
- 供职机构：电子科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术化学工程更多>>
- 一种自吸气真空镀膜方法
- 本发明公开了一种自吸气真空镀膜方法，系在基板与蒸发源或溅射靶之间设置了一个吸气罩，正式沉积薄膜前，真空度尚达不到预设值时，预先沉积一层薄膜，然后停止沉积，继续抽真空。利用该薄膜自身的吸气作用使气压迅速降低至设定值后，再进...
- 杜晓松蒋亚东靖红军
- 文献传递
- 一种微型电容式气体传感器及其制备方法
- 本发明公开了一种微型电容式气体传感器，包括上电极平板、下电极平板、若干支柱和介质薄膜，支柱设置在上电极平板和下电极平板之间，使两者之间形成空腔，所述介质薄膜涂覆在支柱上以及上下电极的内表面上，其特征在于：①相邻支柱上的介...
- 杜晓松蒋亚东靖红军
- 静电射流技术制备纳米材料的研究进展被引量：2
- 2009年
- 电流体动力学射流技术包括静电喷雾和静电纺丝2项孪生技术,是新型的纳米材料制备方法,可以制备纳米薄膜、纳米纤维、壳-鞘结构纤维、纳米管、微纳米包囊、量子点等各种形态的纳米材料。对此进行了系统的总结:静电喷雾技术制备的薄膜比常规喷雾法制备的薄膜更为均匀;静电纺丝技术近年来更是在取向型纤维的制备、无机陶瓷纤维的制备以及同轴射流技术方面取得了重大突破。
- 苏妤杜晓松蒋亚东靖红军
- 关键词：电喷电纺纳米纤维纳米管
- 平面磁控溅射薄膜厚度均匀性的研究概述被引量：8
- 2010年
- 在平面磁控溅射镀膜系统中,薄膜厚度均匀性作为衡量薄膜质量和成膜系统性能的一项重要指标,得到了国内外学者们的广泛研究。本文以膜厚分布的理论模型为出发点,从工艺条件及模型参数两个方面,对靶与基片的位置关系、基片的运动方式、靶材的形状、溅射功率、工作气压、工作模式等各种影响以及改善薄膜厚度均匀性的因素进行了系统的归纳和陈述。最后对平面磁控溅射镀膜系统膜厚分布的研究进展进行总结并提出了展望。
- 于贺吴志明王涛蒋亚东姜晶靖红军
- 关键词：磁控溅射
- 公-自转磁控溅射镀膜系统薄膜沉积均匀性的研究被引量：13
- 2010年
- 研究了公-自转磁控溅射镀膜系统的机理。通过物理建模,使用交点采集和时间步长划分两种模型,分别计算模拟了矩形靶沉积时间的三维分布图,并讨论自转与公转转速比对沉积时间均匀性的影响。模拟结果表明:两种模型仿真结果一致,验证了理论模型的正确性。同时得到结论:此公-自转系统可以通过调节转速比的方法来改善薄膜厚度的均匀性,采用文中指定工艺参数,当转速比等于0.5的时候,薄膜厚度最均匀。仿真得到的偏差结果与实验较好的吻合。
- 于贺王涛吴志明蒋亚东陈超董翔靖红军
- 关键词：磁控溅射膜厚均匀性
- 一种具有电磁屏蔽功能的声表面波气体传感器阵列
- 一种具有电磁屏蔽功能的声表面波气体传感器阵列，属于电子技术领域，涉及气体传感器，具体涉及防止声表面波气体传感器阵列单元间电磁干扰的方法。包括至少两个声表面波器件和驱动电路，其特征在于，还包括一个气体配送系统，所述气体配送...
- 杜晓松蒋亚东靖红军罗凤武
- 文献传递
- 一种自吸气真空镀膜方法
- 本发明公开了一种自吸气真空镀膜方法，系在基板与蒸发源或溅射靶之间设置了一个吸气罩，正式沉积薄膜前，真空度尚达不到预设值时，预先沉积一层薄膜，然后停止沉积，继续抽真空。利用该薄膜自身的吸气作用使气压迅速降低至设定值后，再进...
- 杜晓松蒋亚东靖红军
- 文献传递
- 碳纳米管气/湿敏传感器的制备及特性研究
- 神经毒剂自其出现以来，用于战争和恐怖袭击事件时有发生，因此，发展和研制神经毒剂传感器，对国家和公共安全都有重要意义。碳纳米管以其极高的长宽比和比表面积，以及强的气体吸附能力，成为气体传感器中一种非常理想的敏感材料。本文分...
- 靖红军
- 关键词：碳纳米管丝网印刷自组装
- 文献传递
- 一种具有电磁屏蔽功能的声表面波气体传感器阵列
- 一种具有电磁屏蔽功能的声表面波气体传感器阵列，属于电子技术领域，涉及气体传感器，具体涉及防止声表面波气体传感器阵列单元间电磁干扰的方法。包括至少两个声表面波器件和驱动电路，其特征在于，还包括一个气体配送系统，所述气体配送...
- 杜晓松蒋亚东靖红军罗凤武
- 文献传递
- 一种自吸气真空镀膜方法
- 本发明公开了一种自吸气真空镀膜方法，系在正式沉积薄膜前，真空度尚达不到预设值时，预先沉积一层薄膜，然后停止沉积，继续抽真空。利用该薄膜自身的吸气作用使气压迅速降低至设定值后，再进行正式的薄膜沉积。该方法能极大地缩短抽真空...
- 杜晓松靖红军蒋亚东
- 文献传递
